[发明专利]一种胶泵测试系统及方法

说明书

本发明公开了一种胶泵测试系统及方法，所述胶泵测试系统，包括：供胶装置，所述供胶装置连通所述进胶口；测重装置，所述测重装置包括胶液容器和重量获取装置，所述胶液容器连通所述出胶口；控制器，所述控制器连接所述胶泵，所述控制器用于设置所述胶泵的单次出胶量，控制所述胶泵进行出胶动作，并接收所述重量获取装置的测重信息。本发明有效解决无法判断胶泵的精度是否达到要求的问题。

技术领域

本发明涉及半导体加工，尤其涉及一种胶泵测试系统及方法。

背景技术

在半导体行业中，光刻工艺应用非常广泛。光刻的基本工艺是由光刻胶涂覆、曝光、显影等步骤构成。光刻胶本身能以液态的形式存在，可通过胶泵进行输送。但光刻胶的涂覆过程需要光刻胶的定量输送，因此胶泵的精度尤为重要。

在现有技术中，没有针对胶泵的出胶量进行测试的装置或方法，因此无法测量胶泵的实际出胶量，无法判断胶泵的精度是否达到要求。

发明内容

因此，本发明实施例提供一种胶泵测试系统及方法，有效解决无法判断胶泵的精度是否达到要求的问题。

一方面，本发明实施例提供的一种胶泵测试系统，包括：供胶装置，所述供胶装置连通所述进胶口；测重装置，所述测重装置包括胶液容器和重量获取装置，所述胶液容器连通所述出胶口；控制器，所述控制器连接所述胶泵，所述控制器用于设置所述胶泵的单次出胶量，控制所述胶泵进行出胶动作，并接收所述重量获取装置的测重信息。

与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：所述重量获取装置用于测量所述胶液容器和所述胶液容器内胶液的总重量，连续测量两次后可以计算得到所述胶泵的单次出胶量，从而判断所述胶泵的出胶量是否准确；而所述胶泵多次动作，可以获取所述胶泵的多次出胶量，使得测试结果更加精确；所述控制器能够控制所述胶泵动作，无需持续人工操作所述胶泵，因此所述胶泵测试系统的测试过程更加便捷。

在本发明的一个实施例中，所述供胶装置包括：胶液储存装置，所述胶液储存装置连通所述进胶口；加压装置，连通所述胶液储存装置，所述加压装置用于挤出所述胶液储存装置的胶液。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述控制器控制所述加压装置，所述加压装置能够实现定时定量输送胶液，节省人力；并且，所述在加压过程中所述加压装置能够避免所述胶液储存装置内的胶液与空气接触而失效。

在本发明的一个实施例中，所述供胶装置还包括：胶液缓冲器，连通于所述胶液储存装置和所述进胶口之间，所述胶液缓冲器设有至少一个液位传感器。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述胶液缓冲器用于减缓胶液的流速，避免所述胶泵因胶液流速过大而损坏；所述液位传感器能够检测所述胶液缓冲器内的胶液液位，从而判断胶液是否过少，避免胶液过少情况下打胶打空；举例来说，液位较低时，所述液位传感器获得信号，所述控制器控制抽液装置补充胶液，从而能够继续检测所述胶泵，或者在液位较低时，控制所述胶泵测试系统关闭，人工补充胶液。

在本发明的一个实施例中，所述供胶装置还包括：过滤器，连通于所述胶液储存装置和所述进胶口之间。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述过滤器用于过滤所述胶液储存装置导出的胶液，避免管路中的杂质影响所述胶泵测试的准确性。

在本发明的一个实施例中，所述胶泵测试系统还包括：抽液装置，所述抽液装置朝向所述胶液容器，能够抽取所述胶液容器内的胶液。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述胶泵多次向所述胶液容器导入胶液后，所述胶液容器内的胶液会到达最大容量，通过所述抽液装置抽取所述胶液容器内的胶液，能够避免胶液溢出所述胶液容器，并且能够保证胶液的循环使用。

在本发明的一个实施例中，所述胶泵测试系统还包括：抽液支架；滑动组件，设于所述抽液支架，用于控制所述抽液装置伸入所述胶液容器或远离所述胶液容器。