[发明专利]一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法

权利要求书

1.一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法，其特征在于：包括长度斜率降温法和直径降温法，根据引晶拉速的取值自由切换长斜率降温法和直径降温法，所述长度斜率降温法是设定好放肩长度参数，然后保证拉速与降温幅度恒定，并根据炉内实际情况手动调整拉速，直至完成放肩；

所述直径降温法是设定好放肩直径参数，由系统将实际直径与设定值近做对比，根据实际直径值自动调节拉速，直至完成放肩。

2.根据权利要求1所述的一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法，其特征在于，所述长度斜率降温法具体操作为：

步骤一、在系统页面上输入所需加工的单晶硅的放肩长度参数；

步骤二、再在系统页面上输入拉速和降温幅度的恒定参数值；

步骤三、开始放肩，放肩处理的同时根据实际情况手动操作调整拉速。

3.根据权利要求1所述的一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法，其特征在于，所述直径降温法具体操作为：

步骤一、在系统页面上输入所需加工的单晶硅的放肩直径参数；

步骤二、输入放肩直径参数值后，系统会将单晶硅实际的放肩直径与输入设定值对比得出差值；

步骤三、开始放肩，放肩处理时系统会根据实际放肩直径自动调节拉速。

4.根据权利要求1所述的一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法，其特征在于：所述引晶拉速在240-280mm/h时切换长度斜率降温法，所述引晶拉速在280-340mm/h时切换直径降温法。

5.根据权利要求1所述的一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法，其特征在于：所述长度斜率降温法和直径降温法均是以160单晶炉和36吋热场为基础进行生长，所述160单晶炉上设有PLC自动控制系统，用于控制单晶炉内温度，降温幅度即功率设定值，其功率设定值降幅越大，单晶炉内降温就越多。

6.根据权利要求1所述的一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法，其特征在于：所述直径降温法根据实际直径与设定直径的差值，以设定拉速为基准，然后根据实际直径值来自动调节拉速。

7.根据权利要求1所述的一种12吋单晶拉制的放肩工艺方法，其特征在于：所述直径降温法中拉速自动调节的取值范围是以放肩长度值对应的设定拉速与拉速最大和最小系数值的乘积值的范围，其中拉速最大系数为1.25，拉速最小系数为0.8。