[发明专利]一种采用电镀与化学气相沉积相结合制备复合粘结层的方法以及复合粘结层有效
申请号: | 202111085243.6 | 申请日: | 2021-09-16 |
公开(公告)号: | CN113789556B | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 张恒;许宝文;刘原;宫声凯 | 申请(专利权)人: | 北航(四川)西部国际创新港科技有限公司 |
主分类号: | C25D5/10 | 分类号: | C25D5/10;C25D5/50;C25D3/50;C23C10/08 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王苗苗 |
地址: | 610213 四川省成都市天*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 采用 电镀 化学 沉积 相结合 制备 复合 粘结 方法 以及 | ||
1.一种采用电镀与化学气相沉积相结合制备复合粘结层的方法,包括以下步骤:
在基体表面依次电镀Ru和电镀Pt,得到Ru-Pt复合镀层;所述基体为IC21单晶高温合金;
将所述Ru-Pt复合镀层进行真空热处理,得到Pt-Ru-Pt复合镀层;
将所述Pt-Ru-Pt复合镀层进行化学气相沉积渗铝,得到复合粘结层。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电镀Ru采用的镀Ru溶液中钌元素含量为10~20g/L。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述电镀Ru采用的镀Ru溶液包括钌盐30~35g/L,磷酸50~60mL/L,磷酸二氢钾110~130g/L。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述电镀Ru采用的镀Ru溶液的pH值为1.5~2.0;电镀Ru的温度为70~75℃。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电镀Pt时采用的镀Pt溶液为P盐溶液。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述真空热处理包括依次进行的第一真空热处理和第二真空热处理;所述第一真空热处理的温度为200~280℃,时间为6~12h;所述第二真空热处理的温度为900~1040℃,时间为2~10h;
所述真空热处理过程中真空度保持在10-4~10-3Pa。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述化学气相沉积渗铝包括:将渗铝剂置于炉体下方,所述Pt-Ru-Pt复合镀层置于炉体上方,炉内以5~10℃/min的升温速率达到950~1040℃,第一保温1~2h;所述第一保温结束后通入温度为200~300℃的氯化氢气体和氢气,第二保温2~4h,形成渗铝层。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述渗铝剂包括圆柱状铝粒。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,电镀Ru前,还包括对所述基体进行预处理;所述预处理包括依次进行的清洗和活化;所述活化包括依次进行的酸洗和冲击镀镍。
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