[发明专利]Mini-LED显示模组的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111084506.1 申请日: 2021-09-15
公开(公告)号: CN113793884A 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 张秀;蔡勇;庞佳鑫;岳瑞 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/52;H01L33/62
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 215123 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: mini led 显示 模组 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种Mini-LED显示模组的制备方法,其特征在于包括:

以第一转移基底将Mini-LED芯粒阵列转移到第二转移基底上,并通过牺牲材料将Mini-LED芯粒阵列固定在第二转移基底表面,且使其中各Mini-LED芯粒具有电极的第一表面远离第二转移基底设置;

至少在所述Mini-LED芯粒阵列的各芯粒之间填充隔离材料;

使各芯粒的电极暴露出,并制作与各芯粒的电极电连接的第一导电线路,以将各芯粒串联和/或并联设置;

制作与所述第一导电线路匹配的第一焊点;

利用所述第一焊点将固定于第二转移基底上的Mini-LED芯粒阵列与目标基板结合,之后去除所述牺牲材料,以将所述第二转移基板移除。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一转移基底包括紫外膜或带有与Mini-LED芯粒阵列匹配的凹槽阵列的柔性膜;和/或,所述第二转移基底包括硬质衬底。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于还包括:

以带有凹槽阵列的第一转移基底转移所述Mini-LED芯粒阵列前,先将Mini-LED芯粒阵列设置于临时基底上,且使各芯粒具有电极的第一表面远离临时基底,再将分布于临时基底上的Mini-LED芯粒阵列转移到第一转移基底上,并使其中各芯粒至少部分嵌入在第一转移基底上的相应凹槽中,且使各芯粒的第二表面远离第一转移基底设置,所述第二表面与第一表面相背对;

优选的,所述临时基底包括蓝膜。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述Mini-LED芯粒阵列被转移到第一转移基底和第二转移基底中的任一者上时,其中各芯粒的位置均无偏移。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于还包括:

预先在第二转移基底表面设置由牺牲材料的前驱体形成的粘接层,再将所述Mini-LED芯粒阵列从第一转移基底上转移到第二转移基底上,使其中各芯粒的第二表面贴附在所述粘接层上,之后使所述牺牲材料的前驱体固化形成牺牲材料,从而将所述Mini-LED芯粒阵列固定在第二转移基底表面。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于还包括:

在被转移到第二转移基底上的Mini-LED芯粒阵列表面覆设隔离材料,并使至少部分的隔离材料填充到各芯粒之间的间隙中;

至少将Mini-LED芯粒阵列表面的部分隔离材料去除,以使各芯粒的p电极、n电极暴露出,之后制作第一导电线路,以将各芯粒串联和/或并联设置,其中所述第一导电线路包括p电极互联导电线路、n电极互联导电线路。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于还包括:在完成所述第一导电线路的制作后,再次在Mini-LED芯粒阵列表面覆设隔离材料,之后再次将Mini-LED芯粒阵列表面的部分隔离材料去除,以露出用于制作第一焊点的位置,其后进行第一焊点的制作。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于:所述第一焊点包括多个n型焊接凸点和多个p型焊接凸点,多个所述n型焊接凸点和多个所述p型焊接凸点交错分散排布。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的制备方法,其特征在于包括:采用光刻工艺去除Mini-LED芯粒阵列表面的隔离材料。

10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述目标基板上预先形成有第二导电线路和第二焊点,所述第二导电线路、第二焊点分别与所述第一导电线路、第一焊点匹配。

11.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于包括:采用溶剂溶解去除所述牺牲材料,以将所述第二转移基板移除。

12.根据权利要求1或11所述的制备方法,其特征在于:所述牺牲材料包括聚乙二醇;和/或,所述隔离材料包括聚酰亚胺或环氧树脂。

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