[发明专利]磁增强型等离子体桥电子源

权利要求书

1.一种磁增强型等离子体桥电子源，其特征在于，其包括，

磁性底座，其包括通孔和连通所述通孔的凹陷部；

阴极座，其贯穿所述通孔且延伸出所述凹陷部；

钨丝，其位于一侧的两端分别连接阴极电源的正负极，另一侧通过所述阴极座朝远离阴极座方向延伸，

下磁环，其位于所述凹陷部且吸附在所述磁性底座上；

气体分配器，其安装在所述磁性底座上且覆盖所述下磁环；

阳极，其安装在所述气体分配器的上方；

阳极极靴，其安装在所述阳极远离所述钨丝的一侧；

绝缘座，其安装在所述阳极极靴的上部；

孔板，其支承在所述绝缘座上，所述孔板、阳极和气体分配器构成容纳钨丝的空腔；

中磁环，其吸附在所述阳极极靴的内表面以环绕所述空腔；

上磁环，其吸附在所述阳极极靴的内表面以环绕所述空腔，所述上磁环与所述中磁环轴向间隔预定距离；

放电电源，其正极连接所述阳极，负极连接所述阴极电源的正极；

偏置电源，其正极接地，负极连接所述阳极，孔板中心位于所述磁增强型等离子体桥电子源的对称轴上，孔板中心设有电子提取孔，其连通所述空腔，所述气体分配器覆盖所述凹陷部，所述磁增强型等离子体桥电子源为对称结构，所述通孔位于所述磁性底座的中心，所述中心位于所述磁增强型等离子体桥电子源的对称轴上，阳极为并排放置于气体分配器上的L形结构，其水平段支承于所述气体分配器，从水平段垂直延伸的垂直段构成所述空腔的侧壁。

2.根据权利要求1所述的一种磁增强型等离子体桥电子源，其特征在于，所述阳极极靴经由连接件连接所述阳极。

3.根据权利要求1所述的一种磁增强型等离子体桥电子源，其特征在于，所述气体分配器在周向上均匀排列着多个圆孔以供给气体工质到所述空腔。

4.根据权利要求1所述的一种磁增强型等离子体桥电子源，其特征在于，所述下磁环、所述中磁环和所述上磁环包括多个堆叠的钐钴永磁体圆片。

5.根据权利要求1所述的一种磁增强型等离子体桥电子源，其特征在于，所述绝缘座由云母、氧化铝或氮化硼制成。

6.根据权利要求1所述的一种磁增强型等离子体桥电子源，其特征在于，所述磁性底座和所述阳极极靴均选由磁性材料制成。

7.根据权利要求6所述的一种磁增强型等离子体桥电子源，其特征在于，所述磁性材料包括马氏体不锈钢。