[发明专利]氧化铈掺杂IZO粉体、靶材及制备方法

权利要求书

1.一种氧化铈掺杂IZO粉体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将金属铟、金属锌和金属铈于真空条件、800℃～850℃下进行熔炼，制备InZnCe合金液体；

于氧气氛围中，对所述InZnCe合金液体进行气雾化处理，制备氧化铈掺杂IZO粉体。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属铟和所述金属锌的质量比为(70～79):(4～12)，所述金属铈的质量占所述金属铟和所述金属锌总质量的0.1％～1.47％；及/或

所述氧化铈掺杂IZO粉体中，氧化铟与氧化锌的质量比为(85～95):(5～15)，氧化铈的质量占所述氧化铟和所述氧化锌总质量的0.1％～1.5％。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述真空条件的真空度为20Pa以下。

4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述熔炼的时间为20min～40min；及/或

将所述金属铟、所述金属锌和所述金属铈于810℃～830℃下进行熔炼。

5.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述氧气氛围的压力为38bar～42bar。

6.一种氧化铈掺杂IZO粉体，其特征在于，由权利要求1～5任一项所述的制备方法制得。

7.一种氧化铈掺杂IZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将权利要求6中所述的氧化铈掺杂IZO粉体、水以及分散剂混合成浆料，进行研磨，然后加入粘结剂，分散，进行造粒，制备IZCeO造粒粉，将所述IZCeO造粒粉压制成型，制备IZCeO素坯靶材；

将所述IZCeO素坯靶材置于氧气氛围中进行烧结。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述氧气氛围的压力为0.2MPa～0.4MPa。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述烧结分为两段，进行第一段烧结的温度为500℃～700℃，进行第二段烧结的温度为1400℃～1500℃。

10.根据权利要求7～9任一项所述的制备方法，其特征在于，所述氧化铈掺杂IZO粉体、所述水以及所述分散剂的质量比为1:(0.8～1.2):(0.003～0.006)。

11.根据权利要求7～9任一项所述的制备方法，其特征在于，所述IZCeO造粒粉的粒径为10μm～30μm。

12.一种氧化铈掺杂IZO靶材，其特征在于，由权利要求7～11任一项所述的制备方法制得。