[发明专利]晶圆对准显微镜、光刻机、键合机及压印机

权利要求书

1.一种晶圆对准显微镜，包括光学成像系统和图像传感器，通过光学成像系统把对晶圆上的对准标记成像到图像传感器，光学成像系统的成像主光轴垂直于晶圆表面，成像主光轴沿z方向延伸，晶圆表面沿x、y方向延伸，其特征在于：所述光学成像系统包括沿光束传播方向依次布置的第一镜组、第二镜组、第三镜组，所述图像传感器包括图像传感器a和图像传感器b；

所述第一镜组将对准标记成像到无穷远，从第一镜组射出的光束是沿不同方向的平行光；

所述第二镜组将无穷远处的对准标记成像到无穷远，射入和射出第二镜组的光束是沿不同方向的平行光；并且，第二镜组把经过光束分裂为第一光束和第二光束，从第二镜组射出的第一光束的x、y、z方向均不改变，从第二镜组射出的第二光束的z方向不变，x和y方向相反；

所述第三镜组包括透镜a和透镜b，透镜a接收第一光束，将无穷远处的对准标记成像到图像传感器a；透镜b接收第二光束，将无穷远处的对准标记成像到图像传感器b。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆对准显微镜，其特征在于：所述第二镜组包括前透镜、第一反射镜、第一后透镜、相位延迟器、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第二后透镜，第一反射镜为半反半透镜，第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜为全反射镜，第一镜组射出的光束经前透镜后，再经第一反射镜分成第一光束和第二光束，第一光束经过第一后透镜后，再经过相位延迟器补充光程，最后被透镜a接收，第二光束依次经过第二反射镜反射、第三反射镜反射、第四反射镜反射后，再经第二后透镜射出，被透镜b接收。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆对准显微镜，其特征在于：所述第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜在同一xz平面，第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜在同一yz平面。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆对准显微镜，其特征在于：所述第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜在同一yz平面，第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜在同一xz平面。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆对准显微镜，其特征在于：所述第二镜组连接驱动机构a，通过驱动机构a使第二镜组沿z方向移动，进而调节第二镜组与第一镜组、第三镜组的距离。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆对准显微镜，其特征在于：所述光学成像系统和图像传感器均连接驱动机构b，通过驱动机构b使光学成像系统和图像传感器沿z方向移动，进而调节该晶圆对准显微镜与晶圆的距离。

7.一种接近接触式光刻机，其特征在于：该光刻机配置有N个权利要求1所述的晶圆对准显微镜，N为大于等于1的整数。

8.一种晶圆键合机，其特征在于：该键合机配置有N个权利要求1所述的晶圆对准显微镜，N为大于等于1的整数。

9.一种晶圆级压印机，其特征在于：该压印机配置有N个权利要求1所述的晶圆对准显微镜，N为大于等于1的整数。