[发明专利]一种固态前驱体源存储升华器

权利要求书

1.一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，包括存储筒、安装在存储筒内的若干托盘、托盘依次上下堆叠在一起，托盘内设有若干周向间隔布设的分隔板，相邻两分隔板之间形成用于装载固态前驱体源的储料腔，分隔板上设有通气窗使相邻两储料腔连通，从而在托盘内形成一圈气道；一储料腔内设置隔离板，隔离板将该储料腔分成进气腔和出气腔，下一托盘上的出气腔与上一托盘上的进气腔连通，从而使所有托盘上的气道连通在一起形成通气流道；存储筒上设有载气进口和混合蒸汽出口，载气进口和混合蒸汽出口分别与通气流道的两端连通；相邻两分隔板上的两通气窗，一通气窗设置在一分隔板上靠近托盘中心的端部位置，另一通气窗设置在另一分隔板上远离托盘中心的端部位置；托盘上除设置有隔离板以外的其它储料腔中，间隔一个储料腔设置一个气流调节机构，气流调节机构安装在储料腔内；气流调节机构包括滑块、推拉杆、联动组件，装有气流调节机构的储料腔两侧的分隔板上均铰接有调节板，调节板铰接在通气窗边缘，通过调节板的转动调节通气窗的开口大小；滑块可滑动安装在储料腔中，推拉杆铰接在滑块和远离托盘中心的调节板上；联动组件铰接在两调节板之间；存储筒外和托盘对应安装有转动环，转动环上和滑块对应安装有可与滑块相互吸合的磁块；转动环转动使磁块吸合滑块移动，通过推拉杆和联动组件带动两调节板转动，使两分隔板上的通气窗同时开大或同时开小。

2.根据权利要求1所述的一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，进气腔内安装通气管，通气管下端贯穿托盘，下一托盘上的出气腔与上一托盘上的进气腔通过通气管连通。

3.根据权利要求1所述的一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，载气进口连接进气管，存储筒底部设有载气腔，进气管延伸到载气腔，最下方托盘内的进气腔与载气腔连通，最上方托盘内的出气腔与混合蒸汽出口连通。

4.根据权利要求3所述的一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，托盘上设有安装管，进气管与安装管插装在一起。

5.根据权利要求1所述的一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，分隔板径向布设。

6.根据权利要求1所述的一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，存储筒上端紧密连接端盖，载气进口和混合蒸汽出口均设置在端盖上，载气进口和混合蒸汽出口均连接控制阀门。

7.根据权利要求1至6任意一项所述的一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，托盘包括盘体、定位环，定位环设置在盘体边缘，定位环外壁与存储筒内壁紧密贴合，分隔板和隔离板的上边缘均与定位环上边缘平齐。

8.根据权利要求1所述的一种固态前驱体源存储升华器，其特征是，联动组件包括连杆、过渡杆、调节杆，过渡杆与托盘铰接，过渡杆一端与连杆铰接，另一端与调节杆铰接，连杆铰接在一调节板上，调节杆铰接在另一调节板上。