[发明专利]一种可屏蔽X射线的透射电镜样品室激光引入装置及其使用方法有效
申请号: | 202111060929.X | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113851365B | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 李中文;田源;张永朝;田焕芳;杨槐馨;李建奇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/21;H01J37/02 |
代理公司: | 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 | 代理人: | 刘丹妮 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 屏蔽 射线 透射 样品 激光 引入 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种可屏蔽X射线的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述装置包括:超高真空法兰观察窗,附属监控平台,透射电镜腔体密封块体,底部反射镜,顶部反射镜,底部反射镜支撑架,顶部反射镜支撑架,顶部X射线屏蔽块,底部X射线屏蔽块;其中,
所述超高真空法兰观察窗与内焊型法兰相接,所述内焊型法兰的接管与透射电镜腔体密封块体之间采用连续的氩弧焊接连接;
所述透射电镜腔体密封块体,一侧切削加工有密封槽,加工有安装底部反射镜支撑架和顶部反射镜支撑架的机械配合安装槽,并开有固定用的螺纹;在另一侧开有螺纹孔,用于和附属监控平台的机械连接;
所述底部反射镜支撑架水平方向安装;
所述顶部反射镜支撑架竖直方向安装;
所述顶部X射线屏蔽块安装在所述顶部反射镜支撑架上;
所述底部X射线屏蔽块安装在所述底部反射镜支撑架上。
2.根据权利要求1所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述超高真空法兰观察窗包括超高真空法兰和窗口片;其中,
所述超高真空法兰和所述窗口片之间采用金属和玻璃封接方法封接;
所述超高真空法兰观察窗的窗口片材质选自以下一种或多种:氟化钙、熔融石英、硒化锌。
3.根据权利要求2所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述超高真空法兰观察窗的窗口片材质为氟化钙或熔融石英。
4.根据权利要求1所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述内焊型法兰的面盘与超高真空法兰观察窗之间采用铜垫圈密封。
5.根据权利要求1所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述附属监控平台在所述透射电镜样品室激光引入装置上的固接方式为螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述螺纹连接为采用连接螺纹孔用螺钉紧固连接所述附属监控平台。
7.根据权利要求1所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述附属监控平台上安装有分光镜和监控装置,其中分光镜放置在超高真空法兰观察窗前端,分出一小部分光到监控装置,分光光路与原有入射光路构成等效光路,实时监控入射到透射电镜样品室的激光光斑聚焦的位置,便于实时校正光路随外部环境变化而引起的偏离。
8.根据权利要求7所述的透射电镜样品室激光引入装置,
所述分光镜选自以下一种或几种:分光平片,分光棱镜,偏振分光片、偏振分光棱镜;和/或
所述监控装置为:光斑分析仪或CMOS相机。
9.根据权利要求1所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述透射电镜腔体密封块体的密封材料为O形橡胶密封圈。
10.根据权利要求1所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,
密封槽机械尺寸与透射电镜样品室外侧预留的窗口尺寸相匹配;和/或
安装底部反射镜支撑架和顶部反射镜支撑架的安装槽的加工平面呈垂直关系。
11.根据权利要求1所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,所述底部反射镜支撑架和所述顶部反射镜支撑架与所述透射电镜腔体密封块体使用螺丝连接。
12.根据权利要求11所述的透射电镜样品室激光引入装置,其特征在于,
安装用的螺丝为开槽沉头螺钉;和/或
所述底部反射镜支撑架和所述顶部反射镜支撑架其侧面均开有螺纹孔,用于安装所述顶部X射线屏蔽块和所述底部X射线屏蔽块。
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