[发明专利]具有由反射可流动材料形成的反射层的波导

权利要求书

1.一种制造光波导结构的方法，所述方法包括：

形成反射光学元件，其中形成所述反射光学元件包括：

在波导的表面的区域上提供多个凸起；以及

在所述区域上沉积反射材料以在所述多个凸起的表面上形成层，所述层具有跨所述区域变化的至少一个参数，

其中，所述反射光学元件的反射率随着所述层的所述至少一个参数跨所述区域变化。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述沉积包括通过喷墨、微分配器或施加杆将所述反射材料施加到所述区域。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述反射墨包括铝、银或其组合。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述反射材料被选择性地沉积在所述波导的所述表面的预定区域上。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述表面包括垂直延伸的壁，所述垂直延伸的壁限定了其上选择性地沉积有所述反射材料的所述预定区域的至少一部分。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述垂直延伸的壁形成用于限制所述反射墨的横向移动的连续环。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个凸起包括光致抗蚀剂。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

通过在附加波导的表面上的多个凸起上沉积所述反射材料形成附加反射光学元件，其中所述附加反射光学元件被配置为反射入射电磁辐射；以及

至少将所述附加波导附接到所述波导，从而产生波导的叠层。

9.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述多个凸起是光栅的一部分。

10.根据权利要求1的方法，其中所述反射光学元件是衍射光学元件，其被配置为以一角度重定向入射光以便所述光通过全内反射传播通过所述波导。