[发明专利]一种具有回收结构的晶圆片清洗机

权利要求书

1.一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：包括机壳(1)、清洗机构(2)、液体回收机构(3)、抓取机构(4)，所述机壳(1)上方设置有所述液体回收机构(3)，所述液体回收机构(3)上方设置有所述清洗机构(2)，所述清洗机构(2)上方设置有所述抓取机构(4)；

所述机壳(1)包括支撑柱(101)、连接板(102)、底部支架(103)、下箱体(104)、仓门(105)、把手(106)、支撑板(107)、上壳(108)，所述支撑柱(101)上方设置有所述连接板(102),所述支撑柱(101)一侧设置有所述底部支架(103)，所述底部支架(103)上方设置有所述下箱体(104)，所述下箱体(104)前部设置有所述仓门(105)、所述仓门(105)一侧设置有所述把手(106)，所述下箱体(104)上方设置有所述支撑板(107)，所述支撑板(107)上方设置有所述上壳(108)；

所述清洗机构(2)包括散热架(201)、驱动电机(202)、变速箱(203)、旋转盘(204)、定位块(205)、液体防溅盘(206)、收集仓(207)、收集软管(208)、放置盘(209)、步进电机(210)、旋转柱(211)、连接头(212)、支撑臂(213)、喷头(214)，所述底部支架(103)上方设置有所述散热架(201)，所述散热架(201)上方设置有所述驱动电机(202)，所述驱动电机(202)上方设置有所述变速箱(203)，所述变速箱(203)上方设置有所述旋转盘(204)，所述旋转盘(204)上方设置有所述定位块(205)，所述旋转盘(204)外部设置有所述液体防溅盘(206)，所述液体防溅盘(206)下方设置有所述收集仓(207)，所述收集仓(207)下方设置有所述收集软管(208)，所述液体防溅盘(206)一侧设置有所述放置盘(209)，所述液体防溅盘(206)前部设置有所述旋转柱(211)，所述旋转柱(211)下方设置有所述步进电机(210)，所述旋转柱(211)上方设置有所述连接头(212)，所述连接头(212)后部设置有所述支撑臂(213)，所述支撑臂(213)下方设置有所述喷头(214)；

所述液体回收机构(3)包括过滤箱(301)、过滤网(302)、排泄阀(303)、第一泵体(304)、第一抽取管道(305)、密闭蒸馏仓(306)、冷凝管(307)、纯净液体储藏箱(308)、第二泵体(309)、第二抽取管道(310)、加热丝(311)，所述底部支架(103)上方设置有所述过滤箱(301)，所述过滤箱(301)内部设置有所述第一泵体(304)和所述过滤网(302)，所述过滤箱(301)一侧设置有所述排泄阀(303)，所述第一泵体(304)上方设置有所述第一抽取管道(305),所述第一抽取管道(305)一侧设置有所述密闭蒸馏仓(306)，所述密闭蒸馏仓(306)内部设置有所述加热丝(311)，所述密闭蒸馏仓(306)一侧设置有所述冷凝管(307)，所述冷凝管(307)下方设置有所述纯净液体储藏箱(308)，所述纯净液体储藏箱(308)内部设置有所述第二泵体(309)，所述第二泵体(309)上方设置有所述第二抽取管道(310)。

2.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述抓取机构(4)包括第一伺服电机(401)、第一滚珠丝杆(402)、第一光轴(403)、底座(404)、气推杆(405)、抓取头(406)，所述上壳(108)内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆(402)，所述第一滚珠丝杆(402)一侧设置有所述第一伺服电机(401)，所述第一滚珠丝杆(402)后部设置有所述第一光轴(403)，所述第一光轴(403)和所述第一滚珠丝杆(402)外部设置有所述底座(404)，所述底座(404)下方设置有所述气推杆(405)，所述气推杆(405)下方设置有所述抓取头(406)。