[发明专利]一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置

说明书

本发明公开了一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，所述防止反溅液体污染晶圆的装置包括：废液收集整流杯；废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。本发明有效解决更换废液收集整流杯时，更换空间较小，操作不方便的问题。

技术领域

本发明涉及半导体行业晶圆光刻胶固化领域，尤其涉及一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置。

背景技术

在晶圆的涂布显影工艺中，需要对晶圆喷涂显影液。晶圆设于可升降的晶圆装载装置上（CHECK）上，位于废液收集整流杯（CUP）内，在清洗过程中废液收集整流杯能防止旋转喷涂时显影液反溅并整流。其中，废液收集整流杯需要定期更换，而由于废液收集整流杯位于设备内部，当对其进行更换时，更换空间比较小，操作不方便。

发明内容

因此，本发明实施例提供一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，有效解决更换废液收集整流杯时，更换空间较小，操作不方便的问题。

本发明实施例提供的一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，包括：废液收集整流杯；废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。

与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：所述升降主动件控制所述废液收集整流杯和所述废液收集整流杯支撑件抬升，所述平动主动件控制所述废液收集整流杯和所述废液收集整流杯支撑件平移，使得所述废液收集整流杯能够远离废液收集整流杯底座，便于手动拿取或更换所述废液收集整流杯；更换所述废液收集整流杯后可通过所述升降主动件和所述平动主动件进行精准复位；并且所述废液收集整流杯经过抬升后再平移，不会与防止反溅液体污染晶圆的装置的其他组件发生干涉。

在本发明的一个实施例中，所述升降主动件包括：第一升降主动件和第二升降主动件，所述第一升降主动件和所述第二升降主动件位于所述废液收集整流杯相对的两侧。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一升降主动件和所述第二升降主动件同时控制所述废液收集整流杯升降，能够使所述废液收集整流杯的升降运动更加稳定，避免所述废液收集整流杯发生倾斜。

在本发明的一个实施例中，所述平动主动件包括：第一平动主动件和第二平动主动件；所述第一平动主动件与所述第一升降主动件滑动连接，所述第二平动主动件与所述第二升降主动件滑动连接；所述第一平动主动件和所述第二平动主动件的运动方向相同。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一平动主动件和所述第二平动主动件同时控制所述废液收集整流杯升降，能够使所述废液收集整流杯的水平运动更加稳定，避免所述废液收集整流杯发生倾斜。

在本发明的一个实施例中，所述平动主动件包括：第一平动主动件；所述防止反溅液体污染晶圆的装置还包括：平动从动件；所述第一平动主动件与所述第一升降主动件滑动连接，所述平动从动件与所述第二升降主动件滑动连接。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一平动主动件提供水平运动的动力，带动所述废液收集整流杯水平运动，所述平动从动件随所述第一平动主动件滑动而滑动，并起到支撑的作用。