[发明专利]一种新能源电力元件表面镀覆装置

说明书

本发明公开了一种新能源电力元件表面镀覆装置，本发明涉及新能源机械技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定连接有罐体，所述罐体表面的上方位置固定连接有抽真空设备，所述罐体内侧面的顶部固定连接有轰击机构，所述轰击机构表面的上方位置固定连接有降尘机构，所述罐体内侧面的底部固定连接有搅拌机构，所述搅拌机构的顶部固定连接有混合机构，所述轰击机构包括连接壁。该新能源电力元件表面镀覆装置，通过搅拌机构、混合机构、轰击机构以及降尘机构等机构的配合使用，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。

技术领域

本发明涉及新能源机械技术领域，具体为一种新能源电力元件表面镀覆装置。

背景技术

镀覆又称为镀膜，镀膜指在基材上形成从数纳米到数微米的材料层，材料可以是金属材料、半导体材料以及氧化物氟化物等化合物材料，镀膜的工艺可以最简略的分为化学工艺及物理工艺，化学方法通常是液态或者气态的前体材料经过在固体表面的化学反应，沉积一层固体材料层，物理工艺一般是使用机械的、机电的、热力的方法来产生形成固态薄膜。真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射以及PLD激光溅射沉积等很多种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

发明内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种新能源电力元件表面镀覆装置，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种新能源电力元件表面镀覆装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有罐体，所述罐体表面的上方位置固定连接有抽真空设备，所述罐体内侧面的顶部固定连接有轰击机构，所述轰击机构表面的上方位置固定连接有降尘机构，所述罐体内侧面的底部固定连接有搅拌机构，所述搅拌机构的顶部固定连接有混合机构，所述轰击机构包括连接壁，所述连接壁内侧面的底部固定连接有负压器，所述负压器内侧面的底部固定连接有出风壁，通过设计轰击机构解决了如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题，罐体内部的气体通过过滤环进入连接壁后，通过出风壁回流到罐体，出风壁截面厚度不均使得气流形成定向搅动性更高的风形，使得罐体内部的气体混合地更加充分，电器元件表面镀膜地更加均匀；

所述降尘机构包括过滤环，所述过滤环的内侧面与连接壁表面的上方位置固定连接，所述过滤环的表面固定连接有降尘壁，所述降尘壁的内部开设有曲线槽，通过设计降尘机构解决了罐体内部气体中混合的灰尘杂质容易导致电器元件表面出现明显颗粒的问题，灰尘颗粒随着保护气体从进风口进入曲线槽，由于曲线槽的特殊形状，配合振动器降低灰尘的运动速度，使得灰尘沉降在曲线槽的内部，冷却管造成的温差提高了灰尘的沉降速率。

优选的，所述连接壁内侧面的中部位置固定连接有轰击枪，所述连接壁的底部固定连接有渗透壁，所述渗透壁的顶部固定连接有靶材，所述靶材的表面固定连接有厚度检测器。

优选的，所述降尘壁远离连接壁一端的下方位置固定连接有进风口，所述降尘壁的顶部固定连接有振动器，所述降尘壁的数量为若干个，且每两个降尘壁之间的位置固定连接有冷却管。

优选的，所述搅拌机构包括通气管和气控阀，所述通气管的顶部固定连接有机构壁，所述气控阀的底部与罐体内侧面的底部固定连接，通过设计搅拌机构解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌的问题，不同的保护气体相互混合后输送难以保证气体的浓度，在该装置中，通过设置若干个不同的通气管，通气管内部通入不同的保护气体，再通过气控阀、搅拌叶以及负压器等机构的配合使用，达到混合保护气体以及镀膜材料的目的。