[发明专利]压力传感器有效

专利信息
申请号: 202111031234.9 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN113865775B 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 覃鹏;王乾宇;邓中山;刘静 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: G01L7/18 分类号: G01L7/18
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 宁曼莹
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 压力传感器
【权利要求书】:

1.一种压力传感器,其特征在于,包括:

电阻单元,包括第一电极、第二电极以及所述第一电极和所述第二电极之间的多个连接位,相邻所述连接位之间设置有电阻器;

压力感应单元,包括第三电极、接触面、容腔和出液端,所述容腔内置有液态金属,所述第三电极与所述液态金属连接,所述接触面用于承受压力,所述出液端与所述连接位一一对应;

其中,所述出液端在所述接触面受压后容纳从所述容腔溢出的所述液态金属,并使所述液态金属与所述连接位接触。

2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述第一电极与所述第三电极连接在测量电路上或所述第二电极与所述第三电极连接在所述测量电路上。

3.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,每个所述出液端的高度相等,所述出液端的横截面积呈梯度分布。

4.根据权利要求3所述的压力传感器,其特征在于,横截面积由大到小连续排布的所述出液端与从所述第一电极到所述第二电极的所述连接位依次对应,

或者,横截面积由大到小连续排布的所述出液端与从所述第二电极到所述第一电极的所述连接位依次对应。

5.根据权利要求4所述的压力传感器,其特征在于,所述电阻单元的每个所述连接位对应设置有导电针,所述导电针延伸至所述出液端内,其中,所述导电针的长度均相同。

6.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述电阻单元的每个所述连接位对应设置有导电针,所述导电针延伸至所述出液端内,其中,所述导电针的长度呈梯度分布。

7.根据权利要求6所述的压力传感器,其特征在于,每个所述出液端的高度相等,且每个所述出液端的横截面积相等。

8.根据权利要求7所述的压力传感器,其特征在于,所述导电针长度由长到短与从所述第一电极到所述第二电极的所述连接位依次连接,

或者,所述导电针长度由长到短与从所述第二电极到所述第一电极的所述连接位依次连接。

9.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述液态金属为汞、镓、镓基合金、铋基合金中的任一一种或几种的组合。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的压力传感器,其特征在于,所述电阻器的阻值均相等或阻值从所述第一电极到所述第二电极呈梯度变化。

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