[发明专利]一种瞬态有机场效应晶体管及其制备方法与应用在审
申请号: | 202111029134.2 | 申请日: | 2021-09-02 |
公开(公告)号: | CN115768132A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 汤庆鑫;赵晓丽;刘益春;童艳红;孙红影 | 申请(专利权)人: | 东北师范大学 |
主分类号: | H10K10/46 | 分类号: | H10K10/46;H10K19/10;H10K71/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 王春霞 |
地址: | 130024 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 瞬态 有机 场效应 晶体管 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种瞬态有机场效应晶体管,由下至上依次为衬底、栅极、绝缘层、有机半导体层、源电极和漏电极;其特征在于:
所述绝缘层由天然高分子形成,厚度为150nm~350nm。
2.根据权利要求1所述的瞬态有机场效应晶体管,其特征在于:所述天然高分子为淀粉、葡聚糖、普鲁兰多糖和果胶中任一种。
3.根据权利要求1或2所述的瞬态有机场效应晶体管,其特征在于:所述衬底为硬质衬底或柔性衬底;
所述硬质衬底为硅、二氧化硅或玻璃;
所述柔性衬底为聚对苯二甲酸乙二酯。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的瞬态有机场效应晶体管,其特征在于:所述栅极的材质为PEDOT与PSS的混合物、金、铝、银或铜;
所述栅极的厚度为10nm~50nm;
所述有机半导体层的材质为C8-BTBT、TIPS-并五苯或DNT;
所述有机半导体层的厚度为10~50nm;
所述源电极和漏电极的材质均为金、银、铝或铜;
所述源电极和漏电极的厚度均为10~50nm。
5.权利要求1-4中任一项所述瞬态有机场效应晶体管的制备方法,包括如下步骤:
S1、在所述衬底上制备所述栅极;
S2、在所述栅极上旋涂所述天然高分子的溶液,经固化得到所述绝缘层;所述溶液中含有交联剂;
S3、在所述聚合物层上制备所述有机半导体层;
S4、在所述有机半导体层上沉积金属得到所述源电极和所述漏电极。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于:步骤S1之前,所述方法还包括在所述衬底表面修饰十八烷基三氯硅烷的步骤;
采用液相法修饰所述十八烷基三氯硅烷。
7.根据权利要求5或6所述的制备方法,其特征在于:步骤S1中,采用旋涂或蒸镀的方式制备所述栅极;
步骤S2中,所述溶液中,所述天然高分子的质量浓度为3~10%,所述交联剂的质量浓度为25~50%
所述固化的温度为70℃~110℃,时间为1h~3h;
步骤S3中,采用液相沉积或气相真空蒸镀的方式制备所述有机半导体层;
步骤S4中,采用真空沉积的方式制备所述源电极和所述漏电极。
8.一种瞬态有机场效应晶体管阵列,由权利要求1-4中任一项所述瞬态有机场效应晶体管形成。
9.权利要求1-4中任一项所述瞬态有机场效应晶体管或权利要求8所述瞬态有机场效应晶体管阵列在制作环保电子产品中的应用;
所述环保电子产品包括有源矩阵显示器或逻辑电路。
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