[发明专利]一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片

权利要求书

1.一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，包括氧化锆芯片，其特征在于：所述氧化锆芯片内设置有第一内电极、第二内电极、第三内电极、第四内电极和加热电极，所述氧化锆芯片外表面局部位置设置有置物凹槽，所述置物凹槽内设置有外电极，所述氧化锆芯片的加热区包覆有保护帽，所述保护帽包括第一保护涂层和第二保护涂层，所述第一保护涂层包覆住第二保护涂层，所述第一保护涂层和第二保护涂层均为多孔结构。

2.根据权利要求1所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第二保护涂层的孔隙率大于第一保护涂层的孔隙率。

3.根据权利要求2所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第二保护涂层的厚度为180-200微米，气孔率为30％-45％。

4.根据权利要求3所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第一保护涂层的厚度为180-200微米，气孔率在20％-30％。

5.根据权利要求4所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第一保护涂层和第二保护涂层均为多孔氧化铝涂层。

6.根据权利要求1或4所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述氧化锆芯片包括基板，所述基板的一侧从外至内依次设置有开口、第一腔室和第二腔室，所述第一内电极设置在第一腔室内，所述第二内电极设置在第二腔室内。

7.根据权利要求1所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第一内电极和外电极用于调节第一腔室内氧气浓度；所述第二内电极和外电极用于调节第二腔室内氧气浓度；所述第三内电极和外电极用于调节第三内电极表面的氧气浓度。

8.根据权利要求1所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第四内电极为参比电极，所述第一内电极和第四内电极用于测量第一腔室内氧气浓度，所述第二内电极和第四内电极用于测量第二腔室内氧气浓度。

9.根据权利要求1所述的一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述保护帽的制造方法包括以下步骤：

首先在烧结好的氧化锆芯片的加热区制备第二保护涂层，采用模具或侵涂的方法，第二保护涂层的厚度在180-200微米之间，气孔率在30％-45％之间；

然后采用烘干设备烘干第二保护涂层后，继续在第二保护涂层上采用模具或侵涂的方法制备第一保护涂层，第一保护涂层的厚度在180-200微米之间，气孔率在20％-30％之间；

再采用烘干设备烘干第一保护涂层后，再1300℃烧结1小时，得到多孔的保护涂层帽。