[发明专利]一种石墨舟酸洗液及其制备方法以及利用其的石墨舟清洗方法

权利要求书

1.一种石墨舟酸洗液，其特征在于，所述石墨舟酸洗液按体积比例由15-20%氢氟酸、2-5%盐酸、3-5%表面活性剂和70-80%纯水组成；所述表面活性剂为木质素磺酸盐、烷基酚聚氧乙烯醚或磺基甜菜碱中的任意一种。

2.一种如权利要求1所述的石墨舟酸洗液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：将各原料混合后进行鼓泡。

3.如权利要求2所述的石墨舟酸洗液的制备方法，其特征在于，所述鼓泡的时间为3-5min。

4.如权利要求2所述的石墨舟酸洗液的制备方法，其特征在于，所述鼓泡的气源为N₂。

5.一种利用权利要求1所述石墨舟酸洗液的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述石墨舟清洗方法包括：将待清洗石墨舟放入权利要求1所述石墨舟酸洗液中浸泡酸洗6-10h，之后放入清洗液中浸泡清洗得到洁净石墨舟，所述清洗液为纯水。

6.如权利要求5所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述将待清洗石墨舟进行浸泡酸洗之前，对所述待清洗石墨舟进行纯水冲洗。

7.如权利要求6所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述纯水冲洗的终点为所述待清洗石墨舟表面无粉尘。

8.如权利要求5所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，在所述浸泡酸洗的过程中进行定期鼓泡。

9.如权利要求8所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述定期鼓泡中相邻两次鼓泡之间间隔20-40min。

10.如权利要求8所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述定期鼓泡中每一次鼓泡的时间为3-5min。

11.如权利要求8所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述定期鼓泡的气源为N₂。

12.如权利要求5所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述浸泡清洗的时间为6-8h。

13.如权利要求5所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述浸泡清洗的过程中每20-40min更换一次清洗液。

14.如权利要求13所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述浸泡清洗的过程中在每次更换清洗液前测试石墨舟表面的pH，直至石墨舟表面pH呈中性。

15.如权利要求5所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，在所述浸泡清洗之后，将所述洁净石墨舟依次进行干燥和预处理，所述预处理为在洁净石墨舟的舟片上镀一层氮化硅。

16.如权利要求15所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述干燥在N₂气氛下进行。

17.如权利要求15所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述干燥的温度为20-30℃。

18.如权利要求15所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述干燥的时间为12-18h。

19.如权利要求15所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述干燥在氮气柜中进行。

20.如权利要求15所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述预处理在PECVD设备中进行。

21.如权利要求5所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述石墨舟清洗方法包括：

用纯水将待清洗石墨舟冲洗至表面无粉尘后，放入石墨舟酸洗液中浸泡酸洗6-10h，在浸泡酸洗过程中利用N₂进行定期鼓泡，每隔20-40min鼓泡3-5min；之后放入纯水中浸泡清洗6-8h得到洁净石墨舟，浸泡清洗过程中每20-40min更换一次纯水，并在每次更换纯水前测试石墨舟表面的pH直至石墨舟表面pH呈中性；最后将洁净石墨舟置于氮气柜中，在20-30℃的温度下干燥12-18h后放入PECVD设备中进行预处理，所述预处理为在洁净石墨舟的舟片上镀一层氮化硅；

其中，所述石墨舟酸洗液是由15-20%氢氟酸、2-5%盐酸、3-5%表面活性剂以及70-80%纯水按体积比例混合后鼓泡3-5min得到的，所述表面活性剂为木质素磺酸盐、烷基酚聚氧乙烯醚或磺基甜菜碱中的任意一种。