[发明专利]一种内置传送机构的级联真空腔装置及传送方法

权利要求书

1.一种内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：包括多个依次连接的真空腔，定义最左面的一个真空腔室为第一真空腔，且最右面的一个真空腔为第二真空腔；

每一真空腔皆包括真空腔室、分子泵、分子泵接口、晶圆进出口接口、支撑架和机器手，所述分子泵通过所述分子泵接口与所述真空腔室连接，第一真空腔的左侧的晶圆进出口接口与电子显微镜连接，所述第二真空腔的右侧的晶圆进出口接口与光刻机连接；

所述支撑架和所述机器手位于所述真空腔室的内部；放置晶圆的样品托能够放置于所述支撑架；通过机器手实现样品托在电子显微镜与真空腔、相邻真空腔以及真空腔与光刻机之间的抓取传送；

所述晶圆进出口接口设有密封装置和自动门装置，通过所述密封装置能够将电子显微镜或者光刻机与真空腔密封连接以及将相邻真空腔密封连接，通过自动门装置的关闭与否实现电子显微镜与真空腔、相邻真空腔以及真空腔与光刻机之间是否连通。

2.根据权利要求1所述的内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：所述真空腔设有两个。

3.根据权利要求1所述的内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：所述支撑架配置带有步进编码的旋转驱动装置，其用于驱动位于所述支撑架的样品托匀速旋转。

4.根据权利要求1所述的内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：所述真空腔还设有其它工艺接口，所述其它工艺接口处也设有密封装置和自动门装置。

5.根据权利要求1所述的内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：所述机器手为六轴机器手，所述机器手配置有位置检测装置、执行机构、驱动系统和控制系统组成；所述驱动系统包括动力装置、调节装置和辅助装置。

6.根据权利要求1所述的内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：所述分子泵设置有开关控制系统、监测系统、报警系统、分子泵本体和电源系统。

7.根据权利要求1所述的内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：每一真空腔的机器手皆设有两个。

8.根据权利要求1所述的内置传送机构的级联真空腔装置，其特征在于：所述密封装置为卡槽式密封装置。

9.一种采用根据权利要求2所述的内置传送机构的级联真空腔装置的传送方法，其特征在于：包括将晶圆从电子显微镜传送至光刻机的传送方法，其包括以下步骤：

步骤一、分子泵将第一真空腔内的真空度抽至与电子显微镜的真空度一致，第一真空腔的左侧的晶圆进出口接口的自动门装置打开，通过机器手将样品托及晶圆从电子显微镜取出并放置于支撑架，关闭与电子显微镜连接的晶圆进出口接口处的自动门装置；

步骤二、根据光刻机的真空度要求，第一真空腔的分子泵开始工作直至第一真空腔的真空度满足光刻机的真空度要求停止工作；

同时，根据光刻机的真空度要求，第二真空腔的分子泵开始工作直至第二真空腔的真空度满足光刻机的真空度要求停止工作；

步骤三、打开第一真空腔的右侧的晶圆进出口接口的自动门装置和第二真空腔的左侧的晶圆进出口接口的自动门装置，通过机器手将样品托及晶圆从第一个真空腔传送至第二个真空腔的支撑架，关闭第一真空腔的右侧的晶圆进出口接口的自动门装置和第二真空腔的左侧的晶圆进出口接口的自动门装置；

步骤四、打开第二真空腔的右侧的晶圆进出口接口的自动门装置，通过机器手将样品托及晶圆传送至光刻机，关闭第二真空腔的右侧的晶圆进出口接口的自动门装置。

10.一种根据权利要求8所述的内置传送机构的级联真空腔装置的传送方法，其特征在于：还包括将晶圆从光刻机传送至电子显微镜的传送方法，其包括以下步骤：

步骤一、分子泵将第二真空腔内的真空度抽至与光刻机的真空度一致，第二真空腔的右侧的晶圆进出口接口的自动门装置打开，通过机器手将样品托及晶圆从光刻机取出并放置于支撑架，关闭与光刻机的晶圆进出口接口处的自动门装置；

步骤二、根据电子显微镜的真空度要求，第二真空腔的分子泵开始工作直至第二真空腔的真空度满足电子显微镜的真空度要求停止工作；同时，根据电子显微镜的真空度要求，第一真空腔的分子泵开始工作直至第一真空腔的真空度满足电子显微镜的真空度要求停止工作；

步骤三、打开第二真空腔的左侧的晶圆进出口接口的自动门装置和第一真空腔的右侧的晶圆进出口接口的自动门装置，通过机器手将样品托及晶圆从第二个真空腔传送至第一个真空腔的支撑架，关闭第二真空腔的左侧的晶圆进出口接口的自动门装置和第一真空腔的右侧的晶圆进出口接口的自动门装置；

步骤四、打开第一真空腔的左侧的晶圆进出口接口的自动门装置，通过机器手将样品托及晶圆传送至电子显微镜，关闭第一真空腔的左侧的晶圆进出口接口的自动门装置。