[发明专利]半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法在审
申请号: | 202110988109.0 | 申请日: | 2021-08-26 |
公开(公告)号: | CN113770066A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 左安超;谢荣才;王敏 | 申请(专利权)人: | 广东汇芯半导体有限公司 |
主分类号: | B07C5/344 | 分类号: | B07C5/344 |
代理公司: | 深圳市辰为知识产权代理事务所(普通合伙) 44719 | 代理人: | 陈建昌 |
地址: | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 电路 测试 系统 方法 | ||
1.一种半导体电路的测试系统,其特征在于,包括:
信号发生设备,所述信号发生设备用于连接待测半导体电路的第一类输入引脚,配置为向所述待测半导体电路传输第一IO测试信号,以使所述待测半导体电路根据所述第一IO测试信号,生成第一反馈信号;
检测控制设备,所述检测控制设备用于连接所述待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输出引脚,配置为获取所述待测半导体电路生成的所述第一反馈信号,并对所述第一反馈信号进行处理,根据处理的结果,得到所述待测半导体电路的第一IO测试数据;
其中,在所述IO测试数据满足预设测试条件之后,所述信号发生设备还用于连接待测半导体电路的第二类输入引脚,配置为向所述待测半导体电路传输功能测试信号,以使所述待测半导体电路根据所述功能测试信号,生成第二反馈信号;所述检测控制设备还用于连接待测半导体电路的对应第二类输入引脚的第二类输出引脚,配置为获取所述待测半导体电路生成的所述第二反馈信号,并对所述第二反馈信号进行处理,根据处理的结果,得到所述待测半导体电路的功能测试数据。
2.根据权利要求1所述的半导体电路的测试系统,其特征在于,在所述功能测试数据满足预设测试条件之后,所述信号发生设备还用于连接待测半导体电路的第一类输入引脚,配置为向所述待测半导体电路传输第二IO测试信号,以使所述待测半导体电路根据所述第二IO测试信号,生成第三反馈信号;
所述检测控制设备还用于连接待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输出引脚,配置为获取所述待测半导体电路生成的所述第三反馈信号,并对所述第三反馈信号进行处理,根据处理的结果,得到所述待测半导体电路的第二IO测试数据。
3.根据权利要求2所述的半导体电路的测试系统,其特征在于,所述检测控制设备包括控制器,以及连接所述控制器的检测模块;
所述检测模块用于依次接收所述第一反馈信号、所述第二反馈信号和所述第三反馈信号,并依次将接收到的所述第一反馈信号、所述第二反馈信号和所述第三反馈信号传输给所述控制器;所述控制器用于依次对接收到的所述第一反馈信号、所述第二反馈信号和所述第三反馈信号进行处理,分别得到所述第一IO测试数据、所述功能测试数据和所述第二IO测试数据;
所述控制器还用于在所述第一IO测试数据、所述功能测试数据和所述第二IO测试数据分别满足相应的预设测试条件时,确认所述待测半导体电路为合格品。
4.根据权利要求3所述的半导体电路的测试系统,其特征在于,所述控制器还用于连接所述信号发生设备,配置为向所述信号发生设备传输信号切换指令,以使所述信号发生设备根据所述信号切换指令,切换当前的输出信号;所述当前的输出信号为所述第一IO测试信号、所述功能测试信号或所述第二IO测试信号。
5.根据权利要求1所述的半导体电路的测试系统,其特征在于,所述第一类输入引脚包括P引脚、VB1引脚、U引脚、VB2引脚、V引脚、VB3引脚、W引脚、PFC引脚、-VCC引脚、U-引脚、V-引脚、W-引脚、HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚、PFCIN引脚、FAULT引脚、ITRIP引脚、VDD引脚、VSS引脚、VDD引脚或VSS引脚;所述第一类输出引脚包括P引脚、VB1引脚、U引脚、VB2引脚、V引脚、VB3引脚、W引脚、PFC引脚、-VCC引脚、U-引脚、V-引脚、W-引脚、HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚、PFCIN引脚、FAULT引脚、ITRIP引脚、VDD引脚、VSS引脚、VDD引脚或VSS引脚;
所述第二类输入引脚包括HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚或PFCIN引脚;所述第二类输出引脚包括HO1引脚、HO2引脚、HO3引脚、LO1引脚、LO2引脚、LO3引脚或PFCOUT引脚。
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