[发明专利]一种声波器件及其制备方法

说明书

本发明涉及微电子器件技术领域，本发明公开了一种声波器件及其制备方法。该声波器件包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜和叉指电极结构；该支撑衬底上设有能量反射结构；该叉指电极包括第一汇流条、第二汇流条、第一叉指电极和第二叉指电极；该第一叉指电极包括第一圆弧段；该第一圆弧段的一端与该第一汇流条连接；该第二叉指电极包括第二圆弧段；该第二圆弧段的第一端与该第二汇流条连接；该第一圆弧段与该第二圆弧段共圆心。从而使得该声波器件在有效获得高阶兰姆波的模式的基础上，抑制其他杂散模式。

技术领域

本发明涉及微电子器件技术领域，特别涉及一种声波器件及其制备方法。

背景技术

随着移动通信技术的发展，5G时代所使用的电磁波频段将继续向着高频、大带宽发展。

声波谐振器是声波滤波器的基本单元，现有技术中的声波器件，能够利用压电薄板中具有较高声速和较大机电耦合系数的板波模式，可制备高频大带宽的声学滤波器，因此受到了广泛关注。但现有技术中的声波器件仍存在杂散模式(例如零阶水平剪切波、零阶对称型兰姆波)响应大，进而影响主模式(例如，一阶反对称型兰姆波)，造成无法更好地实现目标声学模式。

发明内容

本发明要解决的是现有技术中的声波器件的杂散模式响应大的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请在一方面公开了一种声波器件，其包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜和叉指电极结构；

该支撑衬底上设有能量反射结构；

该叉指电极包括第一汇流条、第二汇流条、第一叉指电极和第二叉指电极；

该第一叉指电极包括第一圆弧段；该第一圆弧段的一端与该第一汇流条连接；

该第二叉指电极包括第二圆弧段；该第二圆弧段的第一端与该第二汇流条连接；

该第一圆弧段与该第二圆弧段共圆心。

可选的，该第一叉指电极包括至少两个间隔设置的上叉指电极；该上叉指电极包括该第一圆弧段；

该第二叉指电极包括至少两个间隔设置的下叉指电极；该下叉指电极包括该第二圆弧段；

相邻的两个该上叉指电极之间置有一个该下叉指电极；

相邻的该上叉指电极与该下叉指电极之间的距离相等。

可选的，该上叉指电极还包括与该第一圆弧段连接的第三圆弧段；

该下叉指电极还包括与该第二圆弧段连接的第四圆弧段；

该第三圆弧段与该第四圆弧段共圆心；

该第三圆弧段与该第四圆弧段之间的距离相等。

可选的，该上叉指电极还包括第一直线段和第二直线段；

该第一直线段、该第一圆弧段、该第三圆弧段和该第二直线段依次连接；该第一直线段的端部与该第一汇流条连接；

该下叉指电极还包括第三直线段和第四直线段；

该第三直线段、该第四圆弧段、该第二圆弧段和该第四直线段依次连接；该第三直线段与该第二汇流条连接；

相邻的该第一直线段与该第四直线段之间的距离相等，相邻的该第二直线段与该第三直线段之间的距离相等。

可选的，能量反射结构为设于所述支撑衬底上的孔。

可选的，该孔为埋孔；

该埋孔的开口朝向该压电薄膜；或者，该埋孔的开口朝向为远离该压电薄膜的方向。

可选的，该孔为通孔；