[发明专利]一种弹性波谐振器及其制备方法

说明书

本发明涉及微电子器件技术领域，本发明公开了一种弹性波谐振器及其制备方法。该弹性波谐振器包括由下至上依次设置的支撑衬底、压电薄膜和叉指电极结构；该支撑衬底上设有孔；该叉指电极结构包括第一总线、第二总线、第一叉指电极和第二叉指电极；该第一总线的第一端与该第二总线的第一端相对，且存在预设距离；该第一叉指电极设于该第一总线上；该第二叉指电极设于该第二总线上；该第一叉指电极的形状和该第二叉指电极的形状为弧形。从而使得该弹性波谐振器不仅能够有效获得高阶兰姆波的模式，且有效抑制其他杂散模式的基础上，提高器件的功率容量。

技术领域

本发明涉及微电子器件技术领域，特别涉及一种弹性波谐振器及其制备方法。

背景技术

随着移动通信技术的发展，5G时代所使用的电磁波频段将继续向着高频、大带宽发展。

弹性波谐振器是声学滤波器的构成单元，现有技术中的弹性波谐振器能够利用压电薄板中具有较高声速和较大机电耦合系数的板波模式，可制备高频大带宽的声学滤波器，因此受到了广泛关注。由于现有技术中的采用压电薄膜制备的弹性波谐振器由于压电薄膜具有热导率低的缺点，从而使得该弹性波谐振器的耐受功率较低。

发明内容

本发明要解决的是现有技术中弹性波谐振器的功率容量低的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请在一方面公开了一种弹性波谐振器，其包括由下至上依次设置的支撑衬底、压电薄膜和叉指电极结构；

该支撑衬底上设有孔；

该叉指电极结构包括第一总线、第二总线、第一叉指电极和第二叉指电极；

该第一总线的第一端与该第二总线的第一端相对，且存在预设距离；

该第一叉指电极设于该第一总线上；

该第二叉指电极设于该第二总线上；

该第一叉指电极的形状和该第二叉指电极的形状为弧形。

可选的，该孔为埋孔；

该孔的开口朝向该压电薄膜；且该压电薄膜上设有刻蚀通孔，该刻蚀通孔与该孔对应；或者，该孔的开口朝向为远离该压电薄膜的方向。

可选的，该孔为通孔；该孔与该叉指电极结构相对应，以使该叉指电极结构对应的该压电薄膜的区域悬空。

可选的，该第一叉指电极包括至少两个间隔设置的上叉指电极；

该第二叉指电极包括至少两个间隔设置的下叉指电极；

相邻的两个该上叉指电极之间置有一个该下叉指电极；

相邻的该上叉指电极与该下叉指电极之间的距离相等。

可选的，该第一叉指电极包括第一上叉指电极和第二上叉指电极；

该第一上叉指电极设于该第一总线的第一端，且该第一上叉指电极的形状为圆环；该第二上叉指电极的形状为具有开口的圆环，该第二上叉指电极的开口形成放置该第二总线的通道；

该第二上叉指电极的直径大于该第一上叉指电极的直径，且该第一上叉指电极位于该第二上叉指电极内；

该第二叉指电极包括第一下叉指电极和第二下叉指电极；

该第一下叉指电极设于该第二总线的第一端，且该第一下叉指电极的形状和该第二下叉指电极的形状为具有开口的圆环，该第一下叉指电极的开口和该第二下叉指电极的开口形成放置该第一总线的通道；

该第二下叉指电极的直径大于该第一下叉指电极的直径，且该第一下叉指电极位于该第二下叉指电极内；

该第一下叉指电极位于该第一上叉指电极和第二上叉指电极之间；