[发明专利]一种自动匹配式芯片灵敏度测试装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110985997.0 申请日: 2021-08-26
公开(公告)号: CN113671352A 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 朱小炜;张力天;姜祁峰;丁立业;高波;马春宇;王玉如 申请(专利权)人: 上海集成电路技术与产业促进中心
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 合肥云道尔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34230 代理人: 陈兰
地址: 200000 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 匹配 芯片 灵敏度 测试 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种自动匹配式芯片灵敏度测试装置,其特征在于,包括矢量网络分析仪(1)、传输线缆(2)、阻抗调配器(3)、控制电脑(6),所述矢量网络分析仪(1)通过传输线缆(2)与阻抗调配器(3)连接,所述阻抗调配器(3)通过第一网线(5)与控制电脑(6)通信连接,所述控制电脑(6)通过第二网线(7)与所述矢量网络分析仪(1)通信连接,所述阻抗调配器(3)接到被测样品(4)上。

2.根据权利要求1所述的一种自动匹配式芯片灵敏度测试装置,其特征在于,所述被测样品(4)包括待测芯片(14)和匹配装置,所述待测芯片(14)安装在匹配装置上再与所述阻抗调配器(3)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种自动匹配式芯片灵敏度测试装置,其特征在于,所述匹配装置包括SMA转接头(8)、射频传输线(9)、PCB绑定PAD(10)、被测芯片绑定PAD(12)、PAB测试电路板(13),所述SMA转接头(8)、PCB绑定PAD(10)分别安装在所述PAB测试电路板(13)上,所述SMA转接头(8)与PCB绑定PAD(10)之间通过射频传输线(9)连接,所述PCB绑定PAD(10)与被测芯片绑定PAD(12)通过芯片绑定线(11)连接,所述被测芯片绑定PAD(12)安装在所述待测芯片(14)上,所述SMA转接头(8)用于与所述阻抗调配器(3)相连接。

4.一种基于权利要求1-3任一项所述的一种自动匹配式芯片灵敏度测试装置的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将矢量网络分析仪(1)通过传输线缆(2)和阻抗调配器(3)连接,再接到被测样品(4)上,获取被测样品(4)的芯片灵敏度;

(2)阻抗调配器(3)通过第一网线(5)被控制电脑(6)设置成不同的匹配电路,通过控制电脑(6)将匹配电路设置成史密斯圆图上能设定的所有的点;

(3)矢量网络分析仪(1)将反射的最低能量以及对应的频点记录,通过第二网线(7)传给制电脑(6)并记录,记录指定芯片工作频率下能量吸收最低时的阻抗调配器(3)参数,通过控制电脑(6)将阻抗调配器(3)的参数值固定为上述能量吸收最低时的参数;

(4)将阻抗调配器(3)和被测样品(4)作为一个整体,待测芯片(14)处于匹配状态;

(5)将阻抗调配器(3)和被测样品(4)构成的整体,使用灵敏度测试设备测出其灵敏度。

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