[发明专利]一种La-Zr合金靶及其制备方法

权利要求书

1.一种La-Zr合金靶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将La-Mg合金铸锭与锆置于熔炼设备内进行熔炼，熔炼温度为1700～2200℃，保温时间为1～40min，使La-Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发，制得La-Zr合金靶；其中La-Zr合金靶中镧的重量百分比为40%~80%，锆的重量百分比为20%~60%，La-Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La-Zr合金靶中镧与锆总质量的5~50%；

熔炼设备为中频炉，熔炼的工艺参数为将熔炼设备抽真空至2×10^-2Pa～6×10^-2Pa，充入氩气直至真空达到0.01MPa～0.1MPa，将功率升高至8~60kW，加热5～60min，保温1～40min，浇铸到铸铁模具中，冷却，取出La-Zr合金靶；

La-Mg合金铸锭的制备方法包括以下步骤：将镧和镁加入熔炼设备，抽真空至2×10^-2Pa～6×10^-2Pa，充入氩气，直至熔炼设备内真空达到0.03MPa～0.05MPa，接着加热5～80min，保温1～40min，浇铸到铸铁模具中，待冷却后取出La-Mg合金铸锭。

2.根据权利要求1所述的La-Zr合金靶的制备方法，其特征在于，La-Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La-Zr合金靶中镧与锆总质量的10~30%。

3.根据权利要求1所述的La-Zr合金靶的制备方法，其特征在于，熔炼设备为25kg中频炉，功率升至8～50kW，加热20～60min，保温10～50min。

4.根据权利要求1所述的La-Zr合金靶的制备方法，其特征在于，熔炼设备为10kg中频炉，功率升至8～25kW，加热10～80min，保温5～40min。

5.根据权利要求1所述的La-Zr合金靶的制备方法，其特征在于，锆的纯度≥99.99%，所述镧的纯度≥99.99%，所述镁的纯度≥99.99%。

6.一种利用权利要求1-5任一项所述的La-Zr合金靶的制备方法所制得的La-Zr合金靶。