[发明专利]半导体检测夹紧工装

权利要求书

1.半导体检测夹紧工装，包括箱体（1）和电机（5），其特征在于，还包括：

工作台（2），固定连接在箱体（1）顶部，用以放置半导体本体（201）；

所述箱体（1）内设有密封筒（604），所述密封筒（604）内固定连接有固定板（7），所述密封筒（604）内滑动连接有第一滑动板（702）和第二滑动板（703），所述第一滑动板（702）和第二滑动板（703）位于固定板（7）两端，所述第一滑动板（702）和第二滑动板（703）之间连接有连接杆（701），所述第二滑动板（703）与固定板（7）之间连接有第二弹簧（704），所述工作台（2）顶部设有负压口（705），所述负压口（705）与密封筒（604）顶部相连通，所述箱体（1）内设有控制第一滑动板（702）和第二滑动板（703）滑动的气动机构；

所述气动机构包括第二曲轴（601）和第二活塞组件（602），所述第二曲轴（601）固定在第一转轴（6）上，所述第二活塞组件（602）位于箱体（1）内，所述第二曲轴（601）与第二活塞组件（602）转动连接，所述第二活塞组件（602）与密封筒（604）之间连接有第二管道（603），所述第二管道（603）位于第一滑动板（702）和第二滑动板（703）之间，所述第二管道（603）内设有单向阀，所述密封筒（604）侧壁还连接有第三管道（8），所述第三管道（8）上设有自动泄压机构。

2.根据权利要求1所述的半导体检测夹紧工装，其特征在于，还包括：

弹性杆（901），连接在箱体（1）上，所述弹性杆（901）顶部设有吸附棒（902）；

第一转轴（6）转动连接在箱体（1）内，所述电机（5）位于箱体（1）内，所述第一转轴（6）与电机（5）的输出端通过皮带连接；

摩擦盘（9），固定连接在第一转轴（6）上，所述摩擦盘（9）上设有凸块，所述凸块与弹性杆（901）相抵；

集尘罩（11），固定连接在箱体（1）上，所述吸附棒（902）位于集尘罩（11）内；

水箱（1002）和第三活塞组件（1001），位于箱体（1）内；

第二转轴（801），转动连接在箱体（1）内，且与第一转轴（6）通过皮带连接；

第三曲轴（10），固定连接在第二转轴（801）上，且与第三活塞组件（1001）转动连接；

其中，

所述第三活塞组件（1001）与水箱（1002）底部连接有第四管道（1003），所述集尘罩（11）内设有第二喷头（1101），所述第三活塞组件（1001）与第二喷头（1101）之间连接有第五管道（1004）；

所述第四管道（1003）和第五管道（1004）内均设有单向阀；

所述集尘罩（11）底部与水箱（1002）相连通。

3.根据权利要求2所述的半导体检测夹紧工装，其特征在于，所述集尘罩（11）底部连接有第六管道（12），所述第六管道（12）远离集尘罩（11）的一端连接有除尘筒（1201），所述除尘筒（1201）内设有过滤板（1202），所述除尘筒（1201）底部与水箱（1002）之间通过第七管道（1203）相连接。

4.根据权利要求1所述的半导体检测夹紧工装，其特征在于，所述箱体（1）顶部设有支撑板（101），所述支撑板（101）上设有机器手臂（504），所述机器手臂（504）的输出端设有吸盘（506）。

5.根据权利要求4所述的半导体检测夹紧工装，其特征在于，所述电机（5）的输出端连接有第一曲轴（501），所述箱体（1）内设有第一活塞组件（502），所述第一曲轴（501）与第一活塞组件（502）转动连接，所述机器手臂（504）上设有第一喷头（505），所述第一活塞组件（502）与第一喷头（505）之间连接有第一管道（503），所述第一管道（503）内设有单向阀。

6.根据权利要求2所述的半导体检测夹紧工装，其特征在于，所述工作台（2）内滑动连接有夹持块（301），所述夹持块（301）与工作台（2）之间连接有第一弹簧（3）。