[发明专利]半导体制造系统、控制装置、控制方法和存储介质

说明书

本公开提供一种半导体制造系统、控制装置、控制方法和存储介质。具有：本地操作终端，其显示半导体制造装置的装置画面；远程操作终端，其经由网络来与半导体制造装置连接，显示装置画面；以及控制装置，其基于本地操作终端和远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制半导体制造装置，控制装置具有以下单元：对来自本地操作终端和远程操作终端的同时登录状态进行管理；对本地及远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及基于同时登录状态和装置画面显示状态，来针对本地操作终端及每个远程操作终端制作向本地操作终端和远程操作终端发送的装置画面的画面数据。

技术领域

本公开涉及一种半导体制造系统、控制装置、控制方法和程序。

背景技术

例如，半导体制造装置具备用于控制半导体制造装置自身的动作的控制装置。在控制装置设置有输入装置和显示装置。操作者借助输入装置向控制装置输入指令、信息来控制半导体制造装置，并确认显示于显示装置的半导体制造装置的处理条件设定、当前的状态等。操作者能够在洁净室内的设置有半导体制造装置的场所处借助设置于控制装置的输入装置、显示装置来控制或监视半导体制造装置。

通常，半导体制造装置设置在洁净室内。由于需要将洁净室内的环境维持固定，因此需要极力抑制人的出入。以往，已知有以下的远距离控制系统：将设置在洁净室内的半导体制造装置经由网络来与洁净室外的计算机进行连接，并利用计算机来控制或监视处理装置的动作(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-251050号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供如下一种技术：能够在一台以上的远程终端和本地操作终端的各终端同时显示半导体制造装置的不同的装置画面，并从装置画面接受对半导体制造装置的操作。

用于解决问题的方案

本公开的一个方式的半导体制造系统具有：本地操作终端，其显示半导体制造装置的装置画面；一台以上的远程操作终端，所述一台以上的远程操作终端经由网络来与所述半导体制造装置连接，显示所述装置画面；以及控制装置，其基于显示所述装置画面的所述本地操作终端和所述远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制所述半导体制造装置，其中，所述控制装置具有：登录状态管理单元，其对来自所述本地操作终端和所述远程操作终端的同时登录状态进行管理；装置画面显示状态管理单元，其对处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及画面数据制作单元，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态，来针对所述本地操作终端和每个所述远程操作终端制作向所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。

发明的效果

根据本公开，能够提供如下一种技术：能够在一台以上的远程终端和本地操作终端的各终端同时显示半导体制造装置的不同的装置画面，并从装置画面接受对半导体制造装置的操作。

附图说明

图1是本实施方式所涉及的半导体制造系统的一例的结构图。

图2是计算机的一例的硬件结构图。

图3是本实施方式所涉及的控制装置的一例的功能框图。

图4是在处于登录的期间显示的画面的一例的构想图。

图5是在处于登录的期间显示的画面的一例的构想图。

图6是在处于登录的期间显示的画面的一例的构想图。

图7是示出了本实施方式中的装置画面的排它控制的一例的分类图。

图8是本实施方式所涉及的控制装置的处理的一例的流程图。