[发明专利]一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法

说明书

本发明提供了一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法，装置包括ZYGO干涉仪、离轴缩束装调子系统、离轴缩束光学系统、方位俯仰台和基准反射镜；离轴缩束光学系统包括离轴次镜室、离轴次镜、主框架、离轴主镜和离轴主镜室，主框架固定在方位俯仰台上；离轴缩束装调子系统包括侧面工装和正面工装，侧面工装带动正面工装进行平移运动，正面工装带动离轴次镜进行转动、俯仰运动及平移运动；ZYGO干涉仪位于离轴主镜前，基准反射镜位于离轴次镜前，ZYGO干涉仪的出射光与主框架上的入光口重合。本发明解决了传统装调装置和方法难以对离轴光学系统在保证镜室能够安装上主框架的前提下，提升装调效率，批量化生产的问题。

技术领域

本发明属于光学装校技术领域，尤其是涉及一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法。

背景技术

随着光学技术的发展，离轴缩束光学系统发展得日益成熟。在光学系统中，对成像质量以及光束传输质量影响很大的因素是所用反射镜的面型优劣。默认在反射镜加工合格的情况下，对整个光学系统的像质影响最大的环节就是光学系统的装调精度。在装调过程中，与应用广泛的离轴平面反射镜不同的是离轴抛物镜装调的难度更大，主要体现在装调过程中的自由度多，并且由于离轴缩束光学系统是主次镜同时装调的，这样就带来了更多的耦合变量，给装调带来了很大的困难。

目前，用于面形检测比较成熟的技术是通过ZYGO干涉仪来测量出光学系统在基准位置下的整体波像差，得到离焦量、X轴像散值、Y轴像散值、X轴球差、Y轴球差、慧差，这六个变量的绝对值最小的位置即为整体像质最优点。装调离轴光学系统的传统方法是用手动研磨垫片或者采用六维装调架来寻找光学系统整体像质最优点。采用手动研磨垫片的装调方法，由于需要多次拆装且每次安装完之后需要重新找到像质最优点，导致装调时间很长，不利于批量生产。使用六维装调架来装调离轴缩束光学系统，由于该装置不能转动镜片只能转动镜室来找到整体像质最优点，这样就带来了镜室安装孔与主框架固定螺纹孔不同心的问题，使得镜室不能安装在主框架上。因此在保证镜室能够安装上主框架的前提下，提升装调效率是具有重大意义的。

本发明为了解决传统装调装置和方法难以对离轴光学系统在保证镜室能够安装上主框架的前提下，提升装调效率，实现批量化生产的问题，设计了一种用于离轴缩束光学系统的装调装置，并提出了适用于本装置的装调方法。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法，解决了传统装调装置和方法难以对离轴光学系统在保证镜室能够安装上主框架的前提下，提升装调效率，批量化生产的问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种用于离轴缩束光学系统的装调装置，包括ZYGO干涉仪(1)、离轴缩束装调子系统(2)、离轴缩束光学系统(3)、方位俯仰台(4)和基准反射镜(5)；

所述的离轴缩束光学系统(3)包括离轴次镜室(32)、离轴次镜(33)、主框架(34)、离轴主镜(35)和离轴主镜室(37)，所述的离轴主镜(35)安装在离轴主镜室(37)内，所述的离轴次镜(33)安装在离轴次镜室(32)内，所述的离轴主镜室(37)和离轴次镜室(32)分别设置在主框架(34)的相对两侧，所述的主框架(34)固定在方位俯仰台(4)上；

所述的离轴缩束装调子系统(2)包括侧面工装(21)和正面工装(22)，所述的侧面工装(21)固定在主框架(34)的侧面，正面工装设置在主框架(34)的正面，所述的正面工装(22)固定在侧面工装(21)上；

所述侧面工装(21)带动正面工装(22)进行平移运动，所述正面工装(22)带动离轴次镜(33)进行转动、俯仰运动及平移运动；

所述的ZYGO干涉仪(1)位于主框架(34)的入光口前，所述的基准反射镜(5)位于主框架(34)的出光口前，ZYGO干涉仪(1)的出射光与主框架(34)上的入光口重合。