[发明专利]真空干燥装置

权利要求书

1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括干燥腔、过渡腔和抽真空系统；

其中所述过渡腔与所述干燥腔流体连通；

所述抽真空系统与所述过渡腔流体连通，用来对所述过渡腔抽真空、以及通过所述过渡腔对所述干燥腔抽真空；

所述抽真空系统包括至少一第一抽气单元，所述第一抽气单元包括：

抽气管路，与所述过渡腔流体连通；

第一控制阀和第一真空泵，设置在所述抽气管路上，并且，沿抽气气流的流动方向，所述第一控制阀位于所述第一真空泵上游；

所述抽真空系统包括至少一第二真空泵，所述第二真空泵直接与所述过渡腔流体连通；

所述第二真空泵的真空度大于所述第一真空泵的真空度。

2.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，在所述过渡腔中还设置有溶剂吸附装置，用来吸收所述过渡腔中的由所述干燥腔获得的溶剂。

3.如权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述过渡腔具有多个通气口，所述通气口与所述抽真空系统或所述干燥腔流体连通；

所述溶剂吸附装置包括至少一吸附网，所述吸附网设置在所述过渡腔的内壁上并覆盖所述通气口。

4.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置包括至少一连通回路，所述连通回路流体连接至所述过渡腔和所述干燥腔，并且所述连通回路能选择性打开或关闭。

5.如权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述连通回路包括：

连通管路，其两端分别流体连接至所述过渡腔和所述干燥腔；

连通阀，设置在所述连通管路上。

6.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，在所述干燥腔的内部空间设置有载台。

7.如权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述干燥腔具有多个抽气口，所述抽气口与所述干燥腔的内部空间流体连通，并且所述抽气口位于所述载台的下方。