[发明专利]刻蚀设备

权利要求书

1.一种刻蚀设备，其特征在于：

所述刻蚀设备包含刻蚀机以及冷却系统；

所述冷却系统包含蒸发器、抽气机构、冷凝器以及控制单元；

所述蒸发器具有蒸发腔室，所述蒸发腔室内充注有制冷剂，并连通有出口和进口，所述刻蚀机连接有冷却管路，所述冷却管路内流通有刻蚀液，并邻设于所述蒸发腔室，所述蒸发器用以通过所述制冷剂与所述刻蚀液的热交换而使所述刻蚀液降温，所述制冷剂吸热后由液态蒸发为气态；

所述抽气机构连接于所述蒸发腔室的出口，用以将气态的所述制冷剂输送至所述冷凝器；

所述冷凝器分别连接于所述抽气机构与所述蒸发腔室的进口，用以将气态的所述制冷剂冷凝为液态，再将液态的所述制冷剂输送至所述蒸发腔室进行循环；

所述控制单元分别连接并控制所述蒸发器、所述抽气机构和所述冷凝器。

2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述蒸发器包含第一换热片以及第二换热片，所述冷却管路连接于所述第一换热片的内腔的顶部和底部，所述第二换热片的内腔为所述蒸发器的蒸发腔室；其中，所述刻蚀液在所述第一换热片的内腔中的流向是由底部至顶部，所述制冷剂在所述第二换热片的内腔中的流向是由顶部至底部。

3.根据权利要求2所述的刻蚀设备，其特征在于，所述蒸发器包含多个第一换热片以及多个第二换热片，所述第一换热片与所述第二换热片交替布置。

4.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述制冷剂在所述蒸发腔室中的流向，与所述刻蚀液在所述冷却管路内的流向相逆。

5.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述抽气机构包含压缩机，所述压缩机具有低压进口及高压出口，所述低压进口连接于所述蒸发腔室的出口，所述高压出口连接于所述冷凝器；其中，所述压缩机用以将气态的所述制冷剂压缩为高温高压的气体，再输送至所述冷凝器。

6.根据权利要求5所述的刻蚀设备，其特征在于，连接所述蒸发器与所述压缩机的管路上设置有第一温度采集单元，所述第一温度采集单元用以采集该管路位置的所述制冷剂的温度信息；其中，所述控制单元连接于所述第一温度采集单元，用以根据所述温度信息控制所述压缩机。

7.根据权利要求5所述的刻蚀设备，其特征在于，所述冷却系统还包含：

降压装置，设置于连接所述冷凝器与所述蒸发腔室的管路上，用以降低所述冷凝器输出的液态的所述制冷剂的压力，再输送至所述蒸发腔室；

其中，所述控制单元连接并控制所述降压装置。

8.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于，连接所述蒸发器与所述降压装置的管路上设置有第二温度采集单元，所述第二温度采集单元用以采集该管路位置的所述制冷剂的温度信息；其中，所述控制单元连接于所述第二温度采集单元，用以根据所述温度信息控制所述降压装置。

9.根据权利要求8所述的刻蚀设备，其特征在于，所述压缩机与所述蒸发腔室的进口之间连接有过冷保护管路，所述过冷保护管路上设置有常闭的第一控制阀，所述控制单元连接于所述第一控制阀；其中，所述第二温度采集单元测得的温度低于一预设的温度下限值时，所述控制单元控制所述第一控制阀开启，而使所述制冷剂由所述压缩机输出后，直接输送至所述蒸发器。

10.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于，所述降压装置包含节流阀或者膨胀阀。

11.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述冷凝器具有冷凝腔室以及冷却腔室，所述冷凝器通过所述冷凝腔室的气体进口连接于所述抽气机构的出口，通过所述冷凝腔室的液体出口连接于所述蒸发腔室的进口，所述冷却腔室的进口和出口分别连接于循环管路，用以循环冷却介质；其中，所述冷凝器用以通过所述冷却介质与所述制冷剂的热交换，而使气态的所述制冷剂冷凝为液态。