[发明专利]一种低线性相位扇形结构的声表滤波器

说明书

发明属于声表面波技术领域，具体涉及一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，该滤波器包括：输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路；输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路均设置在铌酸铌128°Y‑X切型的晶圆基片上；屏蔽条为空心结构，且设置在输入换能器和输出换能器之间；外围匹配电路设置在扇形声表滤波器的输入端和输出端；在扇形声表滤波器的两个端面上涂有吸声胶；本发明通过设置中空扇形结构的屏蔽条，解决了声表面滤波器通带内相位较大的问题。

技术领域

本发明属于声表面波技术领域，具体涉及一种低线性相位扇形结构的声表滤波器。

背景技术

声表滤波器是一种由制作在压电基片上的输入叉指换能器将电信号转换为声信号并沿基片表面传播，再由输出叉指换能器将声信号转化为电信号，在两次转换中实现对电信号滤波的滤波器。

随着科学技术的发展，声表滤波器无论在军事领域，还是短波电台、无线发射机、接收机等民用领域具有非常广泛的应用；因此，在市场上对频率带宽为65％左右，通带波纹好，群延时波动小的声表面波滤波器的具有较大需求。现有的频率带宽为65％左右的声表滤波器一般为常规声表滤波器，但是常规的声表滤波器的插入损耗很大，其线性相位度也很大，且传统的常规声表滤波器设计一般采用双通道多条耦合器设计，体积较大大，不具备实用价值。如何得到一种相对带宽在65％左右，高矩形度，低旁瓣，高可靠性的低线性相位声表滤波器是目前亟待解决的问题。

发明内容

为解决以上现有技术存在的问题，本发明提出了一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，该滤波器包括：输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路；输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路均设置在铌酸铌128°Y-X切型的晶圆基片上；屏蔽条为空心结构，且设置在输入换能器和输出换能器之间；外围匹配电路设置在扇形声表滤波器的输入端和输出端；在扇形声表滤波器的两个端面上涂有吸声胶；将输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路进行气密性封装，构成声表滤波器。

优选的，输入换能器和输出环能器均为倒梯形叉指换能器。

优选的，屏蔽条为扇形结构。

优选的，外围匹配电路包括声表滤波器输入端外围匹配电路和输出端外围匹配电路；输入端外围匹配电路包括第一电容C1、第一电感L1以及第三电感L3；第一电容C1的一端接地，另一端与电路的信号输入端和第一电感L1连接；第一电感L1的另一端分别与接地的第三电感L3和声表滤波器的输入端连接，构成输入端外围匹配电路；输出端的外围匹配电路与输入端的外围匹配电路结构相同。

进一步的，外围匹配电路中选取的不同电容值的电容，选取的不同电感值的电感。

优选的，晶圆基片的直径Φ为100.0mm～105.0mm，晶圆基片的厚度为0.4mm～0.6mm。

优选的，对器件进行气密性封装的封装外壳为H6-14P。

本发明用于接收机链路，标称频率70MHz相对带宽为65％左右、高矩形度、低旁瓣等高可靠性的声表滤波器，解决了超宽带接收机宽带滤波问题，实现低旁瓣提纯信号，提高信噪比，增强抗干扰作用。

附图说明

图1为本发明的扇形声表面滤波器的结构图；

图2为本发明的外围匹配电路结构图；

图3为本发明的H6-14P外壳芯片粘片点焊示意图；

图4为本发明的一种70MHz超宽带扇形结构的声表滤波器频响图；

图5为本发明的一种70MHz超宽带扇形结构的声表滤波器相位图。

图6为本发明的扇形声表面滤波器的3-1-3电容加权结构图。

具体实施方式