[发明专利]一种基于可控离子再分布的钙钛矿薄膜同质结微纳PN结加工方法在审

专利信息
申请号: 202110951853.3 申请日: 2021-08-18
公开(公告)号: CN113690374A 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 陈小青;程健功;张逍博;严辉;张永哲 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;H01L51/44;H01L51/56;H01L51/52
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 张立改
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 可控 离子 再分 钙钛矿 薄膜 同质 结微纳 pn 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种基于可控离子再分布的钙钛矿薄膜同质结微纳PN结加工方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)制备均匀的钙钛矿薄膜并在钙钛矿薄膜中制备两个平行的嵌入电极,两个电极平行镶嵌到钙钛矿薄膜中;

(2)通过高偏置电压,调控钙钛矿薄膜局部内可移动离子的浓度;通过步骤(1)中的电极向钙钛矿薄膜施加偏置电压,驱动两电极之间钙钛矿薄膜中游离离子空间重排,从而改变钙钛矿薄膜在不同位置的成分和费米能级,使其符合同质结微纳PN结的要求;

(3)通过在步骤(2)处理后的钙钛矿薄膜上依次旋涂PCBM与PMMA进行钝化从而抑制可移动离子即游离离子的回迁,旋涂所需的溶液是PCBM的氯苯溶液和PCBM的氯苯溶液,钝化后可以实现低电压区间稳定工作的钙钛矿同质结微纳PN结。

2.按照权利要求1所述的一种基于可控离子再分布的钙钛矿薄膜同质结微纳PN结加工方法,其特征在于,步骤(2)施加偏置电压和处理的时间,可根据需要进行调整,最终使得两电极之间钙钛矿薄膜中游离离子迁移从而空间重排,即阴离子向阳极迁移,阳离子向阴极迁移从而达到符合同质结微纳PN结的要求。

3.按照权利要求1所述的一种基于可控离子再分布的钙钛矿薄膜同质结微纳PN结加工方法,其特征在于,所述的偏置电压为直流电压。

4.按照权利要求1所述的一种基于可控离子再分布的钙钛矿薄膜同质结微纳PN结加工方法,其特征在于,PCBM的氯苯溶液的质量百分比浓度为0.5%,PCBM的氯苯溶液的质量百分比浓度为0.5%。

5.按照权利要求1所述的一种基于可控离子再分布的钙钛矿薄膜同质结微纳PN结加工方法,其特征在于,低电压区间指的是-10伏至+10伏。

6.按照权利要求1-5任一项所述的方法制备得到的钙钛矿薄膜同质结微纳PN结。

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