[发明专利]一种高附着力纳米刀具涂层及其制备方法在审
| 申请号: | 202110945377.4 | 申请日: | 2021-08-17 |
| 公开(公告)号: | CN113652632A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
| 发明(设计)人: | 陈金海;梁文勇;刘涛;严晓倩;张杰 | 申请(专利权)人: | 科汇纳米技术(常州)有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/06;C09G1/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 213000 江苏省常州市新北区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 附着力 纳米 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,所述高附着力纳米刀具涂层包括从内向外依次包覆在经基体改性后刀具表面的CrN界面层、AlTiN中间层、AlTiN/TiSiN连接层和TiSiN包覆层,所述CrN界面层、AlTiN中间层、AlTiN/TiSiN连接层和TiSiN包覆层均采用沉积包覆的方案进行制备。
2.根据权利要求1所述的一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,所述基体改性包括打砂前处理和抛光后处理,所述基体改性步骤包括:
(1)打砂前处理:取需处理的刀具材料,洗净后打砂处理,调整打砂粒度为#600;
(2)抛光后处理:待打磨完成后,再对其抛光处理,控制抛光压力为10~20KPa,抛光浆料流速为125mL/min,待抛光完成后,即可完成所述基体改性。
3.根据权利要求2所述的一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,所述打砂处理为,在打砂压力0.4MPa~0.6MPa,打砂距离100~120mm,打砂角度25°~35°下打砂处理。
4.根据权利要求2所述的一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,所述打砂处理采用的打砂沙粒包括白刚玉、棕刚玉以及锆刚玉中的一种或多种的混合物。
5.根据权利要求2所述的一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,步骤(2)所述抛光浆料包括下列重量份物质组成:
50~60份水;
10~15份纳米硅溶胶;
6~8份氧化铝颗粒。
6.根据权利要求5所述的一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,所述抛光浆液还包括3~5重量份的质量分数1%氢氧化钠溶液。
7.根据权利要求1所述的一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,所述TiSiN包覆层按原子质量比,包括6~8%的Si、37~39%的Ti和52~58%的N。
8.根据权利要求1所述的一种高附着力纳米刀具涂层,其特征在于,所述AlTiN/TiSiN连接层厚度为1~3μm。
9.根据权利要求1~8任一项所述的一种高附着力纳米刀具涂层的制备方法,其特征在于,所述高附着力纳米刀具涂层的制备步骤为:
S1、取基体改性刀具并置于沉积真空室中,升温减压后,再在氮气气氛下,对基体改性刀具进行活化处理;
S2、待刀具活化完成后,依次在刀具表面以Cr为靶材、AlTi为靶材、TiSi/AlTi为靶材和TiSi为靶材,依次沉积包覆CrN界面层、AlTiN中间层、AlTiN/TiSiN连接层和TiSiN包覆层,待沉积完成后,即可制备得所述高附着力纳米刀具涂层。
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