[发明专利]一种超高硬质刀具涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种超高硬质刀具涂层，其特征在于，所述超高硬质刀具涂层包括CrN层和AlCrN层，所述CrN层的一侧包覆在经溅射清洗后刀具基体表面，另一层沉积包覆有所述AlCrN层。

2.根据权利要求1所述的一种超高硬质刀具涂层，其特征在于，所述溅射清洗包括以下操作步骤：取刀具并洗净后，自然干燥并置于溅射清洗中，通保护气体Ar后，控制离子源为Ar离子，屏极电压为700eV，束流为60～80mA，轰击15min，即可完成溅射清洗步骤。

3.根据权利要求1～2任一项所述的一种超高硬质刀具涂层的制备方法，其特征在于，所述超高硬质刀具涂层的制备步骤包括：

S1、将经溅射清洗后的刀具置于转架上，以Cr为靶材，沉积处理CrN层；

S2、待CrN层沉积完成后，再以AlCr为靶材沉积处理AlCrN层，即可制备得超高硬质刀具涂层。

4.根据权利要求3所述的一种超高硬质刀具涂层的制备方法，其特征在于，超高硬质刀具涂层的制备步骤还包括：

S3、涂层前将刀具置于深冷装置中，在-200～-180℃下深冷处理24h，待深冷完成后，程序升温至200℃，保温回火处理2h。

5.根据权利要求4所述的一种超高硬质刀具涂层的制备方法，其特征在于，步骤S3所述的程序升温速率为0.5℃/min。

6.根据权利要求3所述的一种超高硬质刀具涂层的制备方法，其特征在于，步骤S1所述的CrN层沉积厚度为0.05～0.10μm，沉积温度为500～525℃。

7.根据权利要求3所述的一种超高硬质刀具涂层的制备方法，其特征在于，步骤S2述的AlCrN层沉积厚度为4～6μm，沉积温度为500℃。

8.根据权利要求3所述的一种超高硬质刀具涂层的制备方法，其特征在于，所述CrN层以原子百分比计，包括40％～50％的Cr及45％～55％的N，所述AlCrN层以原子百分比计，包括25％～35％的Al、20％～30％的Cr及40％～50％的N。