[发明专利]扫描探针显微镜系统

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜系统，其特征在于，包括：

主机探头，包括探针架安装位；

探针架，被配置为安装于所述探针架安装位；

音叉型传感探针，所述音叉型传感探针的针尖与所述音叉型传感探针的音叉垂直，所述音叉型传感探针被配置为安装于所述探针架时，所述主机探头与所述音叉型传感探针之间具有一个容置区；

主机底座，被配置为支撑所述主机探头，并与所述主机探头信号连接；

测控装置，与所述主机底座信号连接；以及

光学显微镜系统，工作时，所述光学显微镜系统部分置于所述容置区，所述光学显微镜系统与所述测控装置信号连接。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述探针架为扁平状，以使得工作距离大于或等于设定距离的所述光学显微镜系统在所述容置区内进行工作。

3.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述探针架的数量为多个，每一个所述探针架被配置为安装一个所述音叉型传感探针，所述探针架可拆卸的安装于所述探针架安装位。

4.根据权利要求3所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述多个探针架通过插入的方式的安装于所述探针架安装位。

5.根据权利要求4所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述多个探针架中的任意一个探针架安装于所述探针架安装位时，其上的音叉型传感探针的针尖相对于所述探针架安装位的位置不变。

6.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述光学显微镜系统包括：

光谱仪，与所述测控装置信号连接；以及

联用光学系统，工作时，所述联用光学系统部分置于所述容置区，所述光谱仪的光路通过所述联用光学系统实现传送并聚焦于待测样品的设定位置。

7.根据权利要求6所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述联用光学系统包括：

光路组件，所述光路组件部分置于所述容置区，所述光谱仪的光路通过所述光路组件实现传送并聚焦于所述待测样品的设定位置；

三维调节组件，与所述光路组件机械连接，用于调整所述光路组件的位置；以及

支撑平台，被配置为支撑所述三维调节组件。

8.根据权利要求7所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述支撑平台设置于所述主机底座上。

9.根据权利要求7所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述光路组件包括镜筒、转角镜和物镜，所传送的光线经所述镜筒、所述转角镜和所述物镜聚焦于所述待测样品的设定位置。

10.根据权利要求6所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述光学显微镜系统还包括：

辅助光路调节系统，设置于所述光谱仪与所述联用光学系统之间。