[发明专利]一种双工位碳化硅晶体整形一体机

说明书

本发明为一种双工位碳化硅晶体整形一体机，包括：床身底座，床身底座顶面的一侧固定安装有立柱，床身底座顶面的另一侧设置有加工工位，立柱朝向加工工位一侧的竖直侧壁上固定安装有若干个均匀间隔的水平直线导轨，立柱的竖直侧壁在位于中部的水平直线导轨的上下两侧还分别固定安装有一个水平滚珠丝杠。本发明的目的为克服现有技术的不足，设计了一种双工位碳化硅晶体整形一体机，设计有四个两对垂直和水平方向的进给轴，可以带动立式打磨装置和卧式打磨装置方便加工晶片的表面、外圆和notch槽。

技术领域

本发明涉及数控磨床领域，具体为一种双工位碳化硅晶体整形一体机。

背景技术

现有的磨床大多为单工位磨床而且需要夹具固定，加工碳化硅晶片时不仅装配麻烦，而且装配后加工完表面后就要取下工件，再装配至另一台磨床进行晶片的外圆和notch槽的精加工。

从而导致工艺流程繁杂、加工效率低下，而且晶片在加工时也容易开裂。

发明内容

本发明的目的在于提供一种双工位碳化硅晶体整形一体机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种双工位碳化硅晶体整形一体机，包括：床身底座，床身底座顶面的一侧固定安装有立柱，床身底座顶面的另一侧设置有加工工位，立柱朝向加工工位一侧的竖直侧壁上固定安装有若干个均匀间隔的水平直线导轨，立柱的竖直侧壁在位于中部的水平直线导轨的上下两侧还分别固定安装有一个水平滚珠丝杠，水平滚珠丝杠的外侧端部还设置有水平伺服驱动电机，若干个水平直线导轨上还可滑动的设置有一对水平移动拖板，2个水平滚珠丝杠的丝杠螺母分别固定在2个水平移动拖板上，每个水平移动拖板朝向加工工位一侧的竖直侧壁上均固定安装有2个垂直直线导轨，垂直直线导轨上可滑动的设置有垂直移动拖板，每个水平移动拖板位于2个垂直直线导轨之间还固定安装有垂直滚珠丝杠，每个垂直滚珠丝杠的顶端安装有垂直伺服驱动电机，垂直滚珠丝杠的丝杠螺母固定在2个垂直移动拖板上，2个垂直移动拖板朝向加工工位的竖直侧壁上均固定安装有打磨装置，加工工位包括水平移动工位和立式工位。

作为优选，打磨装置包括立式打磨装置和卧式打磨装置，立式打磨装置包括固定在其中一侧垂直移动拖板上的立式磨头体、竖直安装在立式磨头体上的立式电主轴和安装在立式电主轴上的砂轮，卧式打磨装置包括固定在另一侧垂直移动拖板上的卧式磨头体、水平安装在卧式磨头体上的卧式电主轴和安装在卧式电主轴上的卧式砂轮。

作为优选，水平移动工位设置于砂轮的下方，立式工位设置于卧式砂轮的下方。

作为优选，立式加工工位包括固定设置在床身底座顶面的支撑座、固定安装在支撑座顶端的转台和固定安装在转台顶面的第一真空吸盘。

作为优选，水平移动工位包括一对直线电机、托盘、旋转伺服电机、旋转工作台和第二真空吸盘，一对直线电机固定于床身底座顶面且朝向立柱设置，托盘固定设置在直线电机的动子上，托盘的顶面远离立柱的一侧开设有通孔，旋转伺服电机竖直固定安装在通孔内，旋转工作台可转动的安装于托盘顶面靠近立柱的一侧，旋转伺服电机通过皮带带动旋转工作台转动，第二真空吸盘固定于旋转工作台的顶面上。

作为优选，托盘的顶面位于旋转工作台的一侧还固定安装有气动刹车装置。

作为优选，床身底座外且靠近水平移动工位的一侧还设置有一个X射线晶体定向仪。

本发明的目的为克服现有技术的不足，设计了一种双工位碳化硅晶体整形一体机，设计有四个两对垂直和水平方向的进给轴，可以带动立式打磨装置和卧式打磨装置方便加工晶片的表面、外圆和notch槽；还通过设置有2个加工工位实现在同一台设备上同时加工晶片的表面、外圆和notch槽；并且采用真空吸盘降低晶片的开裂率，还通过X射线晶体定向仪可以更为自动且精确的定向，寻找晶片的notch槽并进行磨削。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。