[发明专利]基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法及系统

权利要求书

1.基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，所述MEMS芯片探测器包括温度探测模块和MEMS传感器，其特征在于，包括步骤：

S1、在应报警模拟环境下，改变模拟环境的温度并基于MEMS芯片探测器获得待测气体的报警标定图，所述报警标定图是表征环境温度和待测气体报警浓度之间的关系图；

S2、用MEMS芯片探测器进行待测气体实际泄漏探测得到探测输出量；

S3、基于报警标定图对探测输出量进行报警判断得到报警结果；

S4、输出报警结果。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，步骤S1包括：

令待测气体的浓度保持在应报警浓度值下，均匀增高或均匀降低模拟环境的温度；

记录每个温度值及其对应MEMS芯片探测器输出的特征量；

基于所有温度值和特征量得到的相关性图作为报警标定图。

3.根据权利要求2所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，相邻两个温度值间的温度差小于5℃。

4.根据权利要求2所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，待测气体的浓度在5%LEL-25%LEL，所述LEL为可燃气体或蒸汽在空气中的最低爆炸浓度。

5.根据权利要求2所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，所述相关性图为：以温度值为X轴，特征量为Y轴绘制的二维坐标图；或以特征量为X轴，温度值为Y轴绘制的二维坐标图。

6.根据权利要求5所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，S2中所述探测输出量包括：探测环境温度和探测气体浓度。

7.根据权利要求6所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，步骤S3包括：

S31、基于探测环境温度在报警标定图中，直接获取对应的特征量或基于线性插值法估计出对应的特征量；

S32、当探测输出量的探测气体浓度大于或等于S31得到的特征量时，判定报警；否则判定不报警。

8.根据权利要求7所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，当报警标定图中有与探测环境温度一致的点，直接获取该点对应的特征量；

当报警标定图中没有与探测环境温度一致的点时，寻找第一个大于探测环境温度的A点和第一个小于探测环境温度的B点，根据线性插值法计算出该探测环境温度对应的特征量。

9.基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测系统，应用于权利要求1-8所述的任意一种基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测方法，其特征在于，包括：模拟环境模块、探测模块、判定模块和输出模块；

模拟环境模块提供应报警模拟环境，改变模拟环境的温度并基于MEMS芯片探测器获得待测气体的报警标定图；

探测模块用MEMS芯片探测器进行待测气体实际泄漏探测得到探测输出量；

判定模块基于报警标定图对探测输出量进行报警判断得到报警结果；

输出模块输出报警结果。

10.根据权利要求9所述的基于MEMS芯片探测器的气体泄漏探测系统，其特征在于，所述于MEMS芯片探测器至少包括温度探测模块和气体浓度探测模块。