[发明专利]一种碲化锌粉末及其靶材的制备方法

权利要求书

1.一种碲化锌粉末的制备方法，包括以下步骤：

将碲和锌分别置于气相沉积装置的加热区，使碲和锌不接触；

对碲和锌分别进行加热，使二者进行气相反应，得到碲化锌粉末；

所述对碲和锌分别进行加热为：对碲进行加热，控制温度从室温升温至1000～1050℃，升温时间70～100min；同时对锌进行加热，控制温度从室温升温至950～1000℃，升温时间70～100min。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述碲和锌的摩尔比为1:1。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，将碲和锌分别置于气相沉积装置的加热区后，将体系抽真空至＜10^-3Pa，然后通入氮气至常压，重复上述操作1～3次，然后抽真空保持体系压力为10～50Pa。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，使二者进行气相反应后，从气相沉积装置的冷却区收集碲化锌粉末。

5.一种碲化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：

按照权利要求1～4任一项所述的制备方法制备碲化锌粉末；

将碲化锌粉末进行真空热压烧结，得到碲化锌靶材。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述真空热压烧结的真空度＜10Pa。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述真空热压烧结的升温曲线为：从室温升温至650～750℃，升温时间55～75min，保温4～7小时。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述真空热压烧结的加压曲线为：

当体系温度达到650～750℃时，保温3～6小时，然后开始加压，加压压力为35～55Mpa，保压时间为30～60min。

9.一种制备碲化锌粉末的气相沉积装置，包括炉体；

所述炉体内设置有锌加热腔室、碲加热腔室和沉积腔室；

所述锌加热腔室、碲加热腔室和沉积腔室相互连通，且所述锌加热腔室和碲加热腔室不接触。

10.根据权利要求9所述的气相沉积装置，其特征在于，所述炉体为T形；

所述锌加热腔室、碲加热腔室分别位于T形炉体的横头部位左右两端；

所述沉积腔室位于T形炉体的底部；

所述锌加热腔室、碲加热腔室分别设置有加热装置；

所述沉积腔室设置有冷却装置；

所述炉体的底部设置有真空及充气接口。