[发明专利]金属板、沉积掩模及其制造方法

权利要求书

1.一种沉积掩模，包括：

金属板，所述金属板包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，

其中，所述金属板具有30μm以下的厚度，

其中，所述金属板包括镍(Ni)和铁(Fe)的合金，

其中，所述金属板包括多个通孔，

其中，所述第一表面包括第一表面孔，

其中，所述第二表面包括第二表面孔，

其中，所述通孔通过连接部形成，所述第一表面孔和所述第二表面孔通过所述连接部彼此连通，

其中，所述第二表面孔的宽度大于所述第一表面孔的宽度，

其中，所述第一表面孔的高度相对于所述金属板的所述厚度具有1：3至1：30的比率，

其中，将所述连接部的端部的任意点连接到所述第二表面孔的端部的任意点的倾斜内角在20度至70度的范围内。

2.根据权利要求1所述的沉积掩模，其中，相邻通孔之间的水平方向或竖直方向的尺寸偏差为2％至10％。

3.根据权利要求2所述的沉积掩模，其中，相邻通孔之间的水平方向或竖直方向的所述尺寸偏差为所述第二表面孔与相邻第二表面孔之间的水平方向或竖直方向的尺寸偏差。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积掩模，其中，所述通孔的宽度为5μm至40μm。

5.根据权利要求4所述的沉积掩模，其中，所述第一表面孔和所述第二表面孔的所述宽度为5μm至40μm。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积掩模，其中，所述第一表面孔的所述高度为0.1μm至7μm。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积掩模，其中，从所述第一表面孔的端部处的任意点到所述连接部的端部处的任意点的竖直距离在0.1μm至7μm的范围内。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积掩模，其中，所述第一表面孔的所述宽度与所述连接部的宽度之间的差值在0.2μm至14μm的范围内。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积掩模，其中，所述第一表面孔或所述第二表面孔在所述第一表面或所述第二表面上的开口区域的边缘部分处具有曲率，

其中，通过使所述边缘部分的圆形部分的曲率延伸所形成的虚拟圆的直径在5μm至20μm的范围内。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积掩模，其中，所述通孔形成在与通过所述沉积掩模形成的基板上的图案相对应的区域中。

11.一种沉积掩模，包括：

金属板，所述金属板包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，

其中，所述金属板具有30μm以下的厚度，

其中，所述金属板包括镍(Ni)和铁(Fe)的合金，

其中，所述金属板包括：

第一外部部分，所述第一外部部分从多层金属板的一个表面占据总厚度的5％以上至10％以下的区域；

第二外部部分，所述第二外部部分从第二表面占据所述总厚度的5％以上至10％以下的区域；以及

除所述第一外部部分和所述第二外部部分之外的中央部分，

其中，所述第一外部部分和所述第二外部部分的镍含量大于所述中央部分的镍含量，并且所述第一外部部分和所述第二外部部分的镍含量为40wt％至100wt％，

其中，所述金属板包括多个通孔，

其中，所述第一表面包括第一表面孔，

其中，所述第二表面包括第二表面孔，

其中，所述通孔通过连接部形成，所述第一表面孔和所述第二表面孔通过所述连接部彼此连通，

其中，所述第二表面孔的宽度大于所述第一表面孔的宽度，

其中，所述第一表面孔的高度相对于所述金属板的所述厚度具有1：3至1：30的比率。