[发明专利]离子注入装置及离子束被照射体在审

专利信息
申请号: 202110901135.5 申请日: 2018-05-29
公开(公告)号: CN113658842A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 松下浩;大北义明 申请(专利权)人: 住友重机械离子科技株式会社
主分类号: H01J37/317 分类号: H01J37/317;H01J37/304;H01J37/302;H01J37/147
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 夏斌
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 离子 注入 装置 离子束 照射
【权利要求书】:

1.一种离子注入装置,其特征在于,具备:

离子源,构成为生成包含第1非放射性核种的离子的离子束;

射束线,构成为支承具有第1被照射区域及第2被照射区域的离子束被照射体;及

控制装置,其构成为,在所述离子束的能量位于第1能量区域时选择所述第1被照射区域,在所述离子束的能量位于比所述第1能量区域高的第2能量区域时选择所述第2被照射区域,

所述射束线具备相对位置调整机构,该相对位置调整机构构成为,以使所述第1非放射性核种的离子入射到所选择的所述被照射区域的方式,调整所述离子束被照射体与所述离子束之间的相对位置,

所述第1被照射区域由包含与所述第1非放射性核种不同的第2非放射性核种的第1固体材料形成,

所述第2被照射区域由以比所述第1固体材料低的浓度包含所述第2非放射性核种或不包含所述第2非放射性核种的第2固体材料形成。

2.根据权利要求1所述的离子注入装置,其特征在于,

所述第1非放射性核种与所述第2非放射性核种为,在所述离子束入射至所述离子束被照射体时,通过所述第1非放射性核种与所述第2非放射性核种的核反应能够产生放射线或者放射性核种。

3.根据权利要求1或2所述的离子注入装置,其特征在于,

所述第1非放射性核种为11B或10B,所述第2非放射性核种为12C。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,

还具备加速器,该加速器能够将通过所述离子源生成的所述离子束加速为至少4MeV的超高能量。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,

所述第2被照射区域具备母材及支承于母材的表层部,所述表层部由所述第2固体材料形成。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,

所述第2固体材料包含原子序数大于所述第2非放射性核种的元素。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,

所述离子束被照射体具备与所述第1非放射性核种不同的离子种类用的被照射区域,

所述控制装置构成为,对于不包含所述第1非放射性核种的离子束,选择所述不同的离子种类用的被照射区域。

8.一种离子注入装置,其特征在于,具备:

射束线,构成为支承离子束被照射体,该离子束被照射体具有分配为加速为第1能量区域的离子束用的第1被照射区域以及分配为加速为比所述第1能量区域高的第2能量区域的离子束用的第2被照射区域;及

控制装置,其构成为,在入射至所述离子束被照射体的离子束的能量位于第1能量区域时选择所述第1被照射区域,在所述离子束的能量位于所述第2能量区域时选择所述第2被照射区域,

所述射束线具备相对位置调整机构,该相对位置调整机构构成为,以使所述离子束入射到所选择的所述被照射区域的方式,调整所述离子束被照射体与所述离子束之间的相对位置。

9.根据权利要求8所述的离子注入装置,其特征在于,

所述第2能量区域位于4MeV以上的超高能量区域。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,

所述离子束被照射体具备分配为加速为所述第1能量区域的离子束用的多个第1被照射区域,所述多个第1被照射区域分别被分配不同能量的离子束。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,

所述离子束被照射体具备分配为加速为所述第2能量区域的离子束用的多个第2被照射区域,所述多个第2被照射区域分别被分配不同能量的离子束。

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