[发明专利]离子注入装置及离子束被照射体在审
申请号: | 202110901135.5 | 申请日: | 2018-05-29 |
公开(公告)号: | CN113658842A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 松下浩;大北义明 | 申请(专利权)人: | 住友重机械离子科技株式会社 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/304;H01J37/302;H01J37/147 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 夏斌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子 注入 装置 离子束 照射 | ||
1.一种离子注入装置,其特征在于,具备:
离子源,构成为生成包含第1非放射性核种的离子的离子束;
射束线,构成为支承具有第1被照射区域及第2被照射区域的离子束被照射体;及
控制装置,其构成为,在所述离子束的能量位于第1能量区域时选择所述第1被照射区域,在所述离子束的能量位于比所述第1能量区域高的第2能量区域时选择所述第2被照射区域,
所述射束线具备相对位置调整机构,该相对位置调整机构构成为,以使所述第1非放射性核种的离子入射到所选择的所述被照射区域的方式,调整所述离子束被照射体与所述离子束之间的相对位置,
所述第1被照射区域由包含与所述第1非放射性核种不同的第2非放射性核种的第1固体材料形成,
所述第2被照射区域由以比所述第1固体材料低的浓度包含所述第2非放射性核种或不包含所述第2非放射性核种的第2固体材料形成。
2.根据权利要求1所述的离子注入装置,其特征在于,
所述第1非放射性核种与所述第2非放射性核种为,在所述离子束入射至所述离子束被照射体时,通过所述第1非放射性核种与所述第2非放射性核种的核反应能够产生放射线或者放射性核种。
3.根据权利要求1或2所述的离子注入装置,其特征在于,
所述第1非放射性核种为11B或10B,所述第2非放射性核种为12C。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,
还具备加速器,该加速器能够将通过所述离子源生成的所述离子束加速为至少4MeV的超高能量。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,
所述第2被照射区域具备母材及支承于母材的表层部,所述表层部由所述第2固体材料形成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,
所述第2固体材料包含原子序数大于所述第2非放射性核种的元素。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,
所述离子束被照射体具备与所述第1非放射性核种不同的离子种类用的被照射区域,
所述控制装置构成为,对于不包含所述第1非放射性核种的离子束,选择所述不同的离子种类用的被照射区域。
8.一种离子注入装置,其特征在于,具备:
射束线,构成为支承离子束被照射体,该离子束被照射体具有分配为加速为第1能量区域的离子束用的第1被照射区域以及分配为加速为比所述第1能量区域高的第2能量区域的离子束用的第2被照射区域;及
控制装置,其构成为,在入射至所述离子束被照射体的离子束的能量位于第1能量区域时选择所述第1被照射区域,在所述离子束的能量位于所述第2能量区域时选择所述第2被照射区域,
所述射束线具备相对位置调整机构,该相对位置调整机构构成为,以使所述离子束入射到所选择的所述被照射区域的方式,调整所述离子束被照射体与所述离子束之间的相对位置。
9.根据权利要求8所述的离子注入装置,其特征在于,
所述第2能量区域位于4MeV以上的超高能量区域。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,
所述离子束被照射体具备分配为加速为所述第1能量区域的离子束用的多个第1被照射区域,所述多个第1被照射区域分别被分配不同能量的离子束。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的离子注入装置,其特征在于,
所述离子束被照射体具备分配为加速为所述第2能量区域的离子束用的多个第2被照射区域,所述多个第2被照射区域分别被分配不同能量的离子束。
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