[发明专利]一种无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号: | 202110899100.2 | 申请日: | 2021-08-05 |
| 公开(公告)号: | CN113652668A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
| 发明(设计)人: | 陈乃超;刘冬梅;居法松 | 申请(专利权)人: | 上海电力大学 |
| 主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/02 |
| 代理公司: | 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 | 代理人: | 王晓东 |
| 地址: | 200090 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 酸碱 预处理 硬质合金 基体 金刚石 涂层 制备 方法 | ||
1.一种无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:包括,
基体表面处理:利用砂纸和金刚石微粉打磨硬质合金基体表面,将打磨好的硬质合金基体去除表面的金刚石微粉和其他的杂质,烘干;
湿法分散颗粒:准备固体颗粒和溶液,将固体颗粒放入溶液中,通过搅拌机将溶液均匀混合,形成混合溶液,超声分散。用胶头滴管吸取混合溶液,滴至基体表面后放入鼓风干燥箱中烘干;
CVD金刚石涂层制备:采用热丝化学气相沉积法沉积金刚石涂层,得到无酸碱预处理的硬质合金金刚石涂层。
2.如权利要求1所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述硬质合金基体,包括钨钴类硬质合金、钨钛类硬质合金及钨钛钽(铌)类硬质合金。
3.如权利要求1或2所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述硬质合金基体,包括钨钴类硬质合金YG3、YG6、YG8、YG12。
4.如权利要求1所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述固体颗粒,为具有较强的碳氢基团吸入能力的固体颗粒,其吸附碳氢基团的速率比Co元素快。
5.如权利要求1或4所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述固体颗粒,包括氧化石墨烯颗粒,其颗粒厚度为1~3nm。
6.如权利要求1所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述溶液,包括浓度为90%的乙醇溶液。
7.如权利要求1所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述混合溶液,其中,固体颗粒的浓度为0.5~2g/L。
8.如权利要求1所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述热丝化学气相沉积法,包括,
采用热丝化学气相沉积法沉积金刚石涂层,氢气和丙酮作为反应气体,将氢气和丙酮的流量分别设定240sccm和90sccm;实验设定形核时间和涂层生长时间分别为30min和4h。
9.如权利要求1或8所述的无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述热丝化学气相沉积法,包括,
工艺结构参数:均匀分布四根间隔为20mm直径为6mm的钽丝,功率设置为4.5KW,基体表面距离钽丝10mm,形核阶段的真空室的压力为1.5~2.0kPa,生长阶段为4.0~5.0kPa;
在整个沉积过程中,热丝温度保持在2100~2300℃,基体表面温度为800~900℃。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





