[发明专利]切断装置及切断品的制造方法在审
| 申请号： | 202110898171.0 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN114256122A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 渡边创;黄善夏;福元康人;石桥干司 | 申请（专利权）人： | 东和株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 王蕊;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切断 装置 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种切断装置，将经树脂成形的封装基板切断成多个半导体封装，且包括：
切断台，包括吸附保持所述封装基板的保持构件；以及
切断机构，将吸附保持于所述保持构件的所述封装基板切断，其中
所述封装基板弯曲，
所述保持构件包括与所述封装基板的弯曲对应的弯曲形状的吸附橡胶。
2.根据权利要求1所述的切断装置，其中，从上方投影所述吸附橡胶的面积与从上方投影弯曲的所述封装基板的面积相同。
3.根据权利要求1或2所述的切断装置，其中，所述吸附橡胶中，吸附所述封装基板的面为与所述封装基板的弯曲对应的弯曲形状，吸附所述封装基板的面的相反侧的面为平面形状。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的切断装置，其中，所述吸附橡胶中吸附所述封装基板的面为朝向中央突出的曲面形状。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的切断装置，其中，所述吸附橡胶中吸附所述封装基板的面为朝向中央凹陷的曲面形状。
6.一种切断品的制造方法，将如权利要求1至5中任一项所述的切断装置的所述切断台上吸附保持的所述弯曲的封装基板利用所述切断机构来切断而制造切断品。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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