[发明专利]检查用连接装置及检查用连接装置的组装方法

权利要求书

1.一种检查用连接装置，其使用于输入或输出光信号的光半导体元件的检查，其特征在于，

该检查用连接装置包括：

光探针；以及

探针头，在该探针头中，分别形成有供所述光探针贯穿的贯通孔的多个引导板沿着所述贯通孔的中心轴线方向相互分离地配置，

所述探针头具有：

第1引导板；以及

第2引导板，其设置为，在所述光探针贯穿了所述贯通孔的状态下，沿着所述贯通孔的半径方向相对于所述第1引导板相对地移动自如，

所述探针头在所述第1引导板的所述贯通孔的中心轴线的位置和所述第2引导板的所述贯通孔的中心轴线的位置沿着所述半径方向错开的状态下，利用所述第1引导板和所述第2引导板各自的所述贯通孔的内壁面夹持所述光探针。

2.根据权利要求1所述的检查用连接装置，其特征在于，

所述第1引导板配置在比所述第2引导板靠近所述光探针的与所述光半导体元件相对的顶端的位置。

3.根据权利要求1或2所述的检查用连接装置，其特征在于，

该检查用连接装置还包括光探针保持装置，该光探针保持装置保持所述光探针的比所述多个引导板远离所述光半导体元件的部分。

4.根据权利要求1或2所述的检查用连接装置，其特征在于，

所述探针头还包括第3引导板，该第3引导板沿着所述贯通孔的中心轴线方向与所述第1引导板和所述第2引导板分离地配置，

所述第3引导板设置为，在所述光探针贯穿了所述贯通孔的状态下，沿着所述半径方向相对于所述第1引导板和所述第2引导板中的至少任意的一者相对地移动自如。

5.根据权利要求1或2所述的检查用连接装置，其特征在于，

该检查用连接装置还包括：

电探针；以及

电探针保持装置，其用于保持所述电探针，

在所述光探针与所述光半导体元件的光信号端子光学连接的状态下，所述电探针的顶端部与所述光半导体元件的电信号端子电连接。

6.一种检查用连接装置的组装方法，该检查用连接装置使用于输入或输出光信号的光半导体元件的检查，其特征在于，

准备分别形成有贯通孔的第1引导板和第2引导板，

在所述第1引导板和所述第2引导板各自的所述贯通孔的中心轴线的位置一致的状态下，使光探针贯穿于所述第1引导板和所述第2引导板各自的所述贯通孔，

在所述光探针贯穿了所述贯通孔的状态下，使所述第2引导板沿着所述贯通孔的半径方向相对于所述第1引导板相对地移动，

利用所述第1引导板和所述第2引导板各自的所述贯通孔的内壁面夹持所述光探针。

7.根据权利要求6所述的检查用连接装置的组装方法，其特征在于，

沿着所述贯通孔的中心轴线方向与所述第1引导板和所述第2引导板分离地配置第3引导板，

在所述第1引导板、所述第2引导板以及所述第3引导板各自的所述贯通孔的中心轴线的位置一致的状态下，使所述光探针贯穿于所述第1引导板、所述第2引导板以及所述第3引导板各自的所述贯通孔，

在所述光探针贯穿了所述贯通孔的状态下，使所述第3引导板相对于所述第1引导板和所述第2引导板中的与所述第3引导板相邻的引导板相对地移动，

利用所述第1引导板、所述第2引导板以及所述第3引导板各自的所述贯通孔的内壁面夹持所述光探针。