[发明专利]一种光谱分量的对准可调整光谱仪有效

专利信息
申请号: 202110874681.4 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN113532641B 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 周辉;曹海峰;李海峰;王月虹;张道森 申请(专利权)人: 季华实验室
主分类号: G01J3/02 分类号: G01J3/02;G01J3/45
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 528200 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 光谱 分量 对准 可调整 光谱仪
【权利要求书】:

1.一种光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,包括依次连接的光接口、第一半透半反镜、第一振镜、第二振镜、光学缩束系统、第二半透半反镜、狭缝、全息凹面光栅、第一图像采集器,还包括与所述第二半透半反镜连接的第二图像采集器,以及分别与第一图像采集器、第二图像采集器、第一振镜、第二振镜、光学缩束系统连接的计算机及显示系统;

所述第一振镜和所述第二振镜对称设置,待测光束经所述第一振镜反射后传至所述第二振镜,所述第一振镜和所述第二振镜分别在所述计算机及显示系统的控制下协同绕光轴转动,所述第一振镜的转动轴线与光轴共面且与光轴成90度夹角,所述第二振镜的转动轴线与光轴共面且与光轴成45度夹角,且所述第一振镜的转动轴线与所述第二振镜的转动轴线相互垂直。

2.根据权利要求1所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述光接口包括第一接口和第二接口。

3.根据权利要求2所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述第一接口为光纤接口,所述光纤接口和所述第一半透半反镜之间设置准直透镜,待测光束自所述光纤接口入射后经所述准直透镜,并经所述第一半透半反镜透射后传至所述第一振镜。

4.根据权利要求2所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述第二接口为自由光接口,所述待测光束自所述自由光接口入射后经所述第一半透半反镜 反射后传至所述第一振镜。

5.根据权利要求1所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述光学缩束系统包括平凸透镜、平移执行机构和平凹透镜,所述平凸透镜和所述平凹透镜光轴同轴,所述平凹透镜设置在所述平移执行机构上,所述平移执行机构沿着光轴前后移动。

6.根据权利要求1所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述第二半透半反镜将待测光束位置信息反射到所述第二图像采集器上,所述第二图像采集器用于收集包含待测光束位置信息的由所述第二半透半反镜反射的光,并将光谱信号转换为电信号上传至计算机及显示系统。

7.根据权利要求1所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述第一图像采集器的物理尺寸大于所述全息凹面光栅衍射后在平直的像面位置处光谱透射宽度,用于收集经过位置实时校准并通过所述狭缝的待测光束入射到所述全息凹面光栅衍射后的光谱信号,并将所述光谱信号转换为电信号上传至所述计算机及显示系统。

8.根据权利要求1所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述第二半透半反镜的透射比大于90%。

9.根据权利要求1所述的光谱分量的对准可调整光谱仪,其特征在于,所述第一图像采集器或第二图像采集器为限行传感器、二维传感器、三维传感器、探测器芯片和探测器相机中的一种或其组合。

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