[发明专利]一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极有效
| 申请号： | 202110872823.3 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113584449B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 汪建;杜寅昌;李成;程厚义;赵巍胜;张悦 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院） |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 苗娟 |
| 地址： | 230013 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高靶材 利用率 圆形 平面 磁控溅射 阴极 | ||
1.一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极，包括靶材（1）、磁体（2）、磁轭（3）及靶座（5），其特征在于：还包括运动机构（6）；
靶材（1）安装在靶座（5）上方，磁体（2）安装在磁轭（3）上，位于靶座（5）下方，磁体（2）与阴极中轴（4）偏心安装，即磁体中心与阴极中轴（4）不重合；
运动机构（6）设置在磁轭（3）的下方，磁轭（3）连接到下方的运动机构（6）上，运动机构（6）牵引磁轭（3）从而带动磁体（2）绕阴极中轴（4）螺旋式周期旋转运动，旋转半径逐渐增大；
所述运动机构（6）包括齿轮齿条运动机构（A）、直线导轨机构（B）、外轴机构（C）及内轴机构（D）；
磁轭（3）安装在齿轮齿条运动机构（A）的齿条上，同时也安装在直线导轨机构（B）的滑台上；
齿轮齿条运动机构（A）的齿轮与内轴机构（D）连接，在内轴机构（D）的电机驱动下通过磁轭（3）调节磁体（2）的中心相对阴极中轴（4）的中心距；
直线导轨机构（B）的滑轨安装在外轴机构（C）上，通过外轴机构（C）与内轴机构（D）的两部电机转速差实现磁轭（3）及磁体（2）做螺旋式旋转。
2.如权利要求1所述的一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极，其特征在于：所述磁体为圆柱状、条形、正方形或者不规则形状。
3.如权利要求2所述的一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极，其特征在于：所述磁体为永磁体或者电磁体。
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