[发明专利]弹性波装置及包含该弹性波装置的模块

说明书

一种弹性波装置，包含：压电基板；具有形成在所述压电基板上的数个电极指的第一汇流排；及具有形成在所述压电基板上且与所述第一汇流排相对地配置的数个电极指的第二汇流排，在所述第一汇流排与所述第二汇流排的电极指的前端部彼此相对的所述压电基板的区域，形成凹部。借此，可提供充分抑制寄生谐振的弹性波装置及具有所述弹性波装置的模块。

技术领域

本公开涉及一种弹性波装置、包含该弹性波装置的模块，例如具有弹性表面波共振器的弹性波装置、滤波器及多工器(multiplexer)。

背景技术

专利文献1(日本专利特开2017-34363号公报)示例一种电子组件，依据该电子组件可抑制寄生谐振。

发明内容

专利文献1中公开通过使压电基板薄型化来抑制体波(bulk wave)引起的寄生谐振的技术的示例。

然而，专利文献1中记载的电子组件，不能抑制由其他原因引起的寄生谐振。因此，不能提供充分抑制寄生谐振的弹性波装置。

本公开有鉴于上述问题，目的在于提供一种充分抑制寄生谐振的弹性波装置及具有该弹性波装置的模块。

根据本公开的一方面，提供一种弹性波装置，包含：

压电基板；

具有形成在所述压电基板上的数个电极指的第一汇流排；及

具有形成在所述压电基板上且与所述第一汇流排相对地配置的数个电极指的第二汇流排，

在所述第一汇流排与所述第二汇流排的电极指的前端部彼此相对的所述压电基板的区域，形成有凹部。

本公开的一种形态，在所述第二汇流排与所述第一汇流排的电极指的前端部彼此相对的所述压电基板的区域，形成有凹部。

本公开的一种形态，所述凹部比所述压电基板的第一汇流排更靠近所述第二汇流排的电极指的前端部。

本公开的一种形态，所述凹部在与弹性表面波传递方向平行的方向上的宽度是在弹性表面波的波长的1/4～3/4的范围内。

本公开的一种形态，所述凹部的深度是形成为压电基板的厚度的35％～100％的范围内。

本公开的一种形态，所述压电基板是由钽酸锂、铌酸锂或水晶所制成。

本公开的一种形态，所述压电基板与由蓝宝石、硅、氧化铝、尖晶石、水晶、玻璃或及硅制成的支持基板接合。

本公开的一种形态，所述凹部以贯通所述压电基板的方式形成，而所述支持基板构成所述凹部的底部。

本公开的一种形态，在邻接所述第一汇流排的末端的电极指或是所述第二汇流排的末端的电极指的所述压电基板的区域，形成第二凹部。

本公开的一种形态，述第二凹部是形成在所述第一汇流排及所述第二汇流排的两端部。

根据本公开的另一方面，还提供一种包含前述的弹性波装置的模块。

本发明的有益效果在于：依据本公开，可提供一种充分抑制寄生谐振的弹性波装置及具有该弹性波装置的模块。

附图说明

图1是实施形态1的弹性波装置的纵截面图。

图2是例示实施形态1的弹性波装置的弹性波组件的图。

图3是示意性说明实施形态1的弹性波装置的模拟条件的图。

图4是示意性说明实施形态1的弹性波装置的模拟条件的图。

图5是显示实施形态1的弹性波装置与比较例的共振特性的图。