[发明专利]超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器及应用

权利要求书

1.超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器，其特征在于，包括共面波导CPW和外延钇铁石榴石YIG薄膜器件；外延钇铁石榴石YIG薄膜器件设置在共面波导CPW上表面；外延钇铁石榴石YIG薄膜器件外设置有磁场；

共面波导CPW包括介质基片和三条互相平行的导带；三条互相平行的导带设置在介质基片上；中间的导带为中心金属导带，两侧为接地带；

外延YIG薄膜器件横跨三条平行导带设置。

2.根据权利要求1所述的超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器，其特征在于，外延钇铁石榴石YIG薄膜器件包括单晶钆镓石榴石GGG衬底和YIG功能层和铂保护层；YIG功能层设置在单晶钆镓石榴石GGG衬底和铂保护层之间。

3.根据权利要求2所述的超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器，其特征在于，单晶钆镓石榴石GGG衬底取向为111。

4.根据权利要求3所述的超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器，其特征在于，外延钇铁石榴石YIG薄膜器件生长的工艺采用脉冲激光沉积PLD；生长时的温度为850℃，氧气压力为13 Pa；沉积完成后，在100 Pa氧压下原位退火10min，然后冷却至室温；冷却速度为2℃/min。

5.根据权利要求1所述的超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器，其特征在于，共面波导CPW的两侧设置有共面波导SMA接口。

6.超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器的应用，其特征在于，基于权利要求1至5任意一项所述的超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器，用于Keysight E5071C型矢量网络分析仪进行测试。