[发明专利]一种五氧化三钛晶体的制备方法在审
| 申请号: | 202110866370.3 | 申请日: | 2021-07-29 |
| 公开(公告)号: | CN113550007A | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
| 发明(设计)人: | 邵小兰;朱亮 | 申请(专利权)人: | 泰州市爱特斯光学材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/16 | 分类号: | C30B29/16;C30B11/00 |
| 代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 陈培生 |
| 地址: | 225500 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 氧化 晶体 制备 方法 | ||
1.一种五氧化三钛晶体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)、将原料钛粉和氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉按质量比为=1:9-12,混合均匀、造粒,在100-300℃下烘干,成为烧结料;
2)、将烧结料放入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,抽真空至炉内真空度为10-3-10-4pa以下;
3)、对整个系统分阶段升温烧结,各阶段的参数设定如下:
第一阶段:常温升至1050℃,升温速率为5-7℃/min,真空度保持在10-3-10-4pa以下;
第二阶段:1050℃升至1150℃,升温速率为2-4℃/min,当温度达到1150℃时采用0.3L/min-0.8L/min的流量充入惰性保护气体;
第三阶段:继续保持0.5-0.8L/min的流量充入惰性保护气体,1150℃保温1-2小时,原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在30-48℃/cm的范围内,坩埚下降速率在1.5-3.5mm/h之间,
4)、待晶体生长结束后,转移至生长炉内保温10-24小时,然后经过匀速降至室温。
2.如权利要求1所述的一种五氧化三钛晶体的制作工艺,其特征在于,所述步骤3)中对整个系统的加热方式是电磁感应加热。
3.如权利要求1所述的一种五氧化三钛晶体的制作工艺,其特征在于,所述步骤4)中以50-55℃/h的速度降至室温,对所生长的晶体进行退火处理。
4.如权利要求1所述的一种五氧化三钛晶体的制作工艺,其特征在于,所述步骤3)中第二阶段、第三阶段充入的惰性保护气体为氩气、氦气、氦气中的任一种。
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