[发明专利]一种具有进气和测压功能的双层气管

说明书

本发明公开了一种具有进气和测压功能的双层气管，包括工艺管，工艺管的尾端设置有排气管，排气管上设置有阀门，工艺管的下部靠近内壁处焊接有外管，工艺管外部的外管端部套接有双层管接头体，双层管接头体的内部夹持有进气管，双层管接头体前后的内圆直径不同，双层管接头体上部设置有压力表座管，压力表座管的上端连接有压力表。一种具有进气和测压功能的双层气管及接头结构可以减少管路数量，合理套装共用同一位置，实现了两种气体套装管路共用一个中心位置或一种气体和压力测量共用一个中心位置，可以减少一半的进气管路的位置需求，解决了位置拥挤排布不开的困难，实现了多气体多流量的进气和压力检测的全部功能，其优良的效果和作用明显。

技术领域

本发明涉及半导体和光伏领域扩散炉，LPCVD等管式设备，特别是一种具有进气和测压功能的双层气管。

背景技术

传统方式，所有进气、排气、压力测量、工艺腔内偶都需要单管进行排布，对于复杂工艺，其工艺腔室的端部排布的管路就很多，又不能占用工艺腔内部工艺晶舟和晶片的合理空间，所以排布就只能在接近腔室外壁的环形圆周进行排布，设备特点通常要求在下部排布进气，中间或上部排布气体排出，对于此类复杂工艺需求就出现了设备进气端管路拥挤、干涉，或不方便安装、容易损坏等诸多问题，不好解决。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述问题，设计了一种具有进气和测压功能的双层气管。

实现上述目的本发明的技术方案为，一种具有进气和测压功能的双层气管，包括工艺管，所述工艺管的尾端设置有排气管，所述排气管上设置有阀门，所述工艺管的下部靠近内壁处焊接有外管，所述工艺管外部的外管端部套接有双层管接头体，所述双层管接头体的内部夹持有进气管，所述双层管接头体前后的内圆直径不同，所述双层管接头体上部设置有压力表座管，所述压力表座管的上端连接有压力表。

作为对本发明的进一步说明，所述进气管贯穿双层管接头体和外管，且所述进气管一端伸进工艺管内，另一端伸出双层管接头体外。

作为对本发明的进一步说明，所述双层管接头体一端的管内设置有外管螺纹盖，且所述外管螺纹盖套接在所述外管的外壁上。

作为对本发明的进一步说明，所述双层管接头体的另一端的管内设置有进气管螺纹压盖，且所述进气管螺纹压盖套接在所述进气管的外壁上。

作为对本发明的进一步说明，所述外管螺纹压盖与所述双层管接头之间设置有外管密封圈和外管密封圈隔套。

作为对本发明的进一步说明，所述外管密封圈设置于靠近双层管接头体的位置，所述外管密封圈隔套设置在2个外管密封圈的之间。

作为对本发明的进一步说明，所述进气管螺纹压盖与所述双层管接头体之间设置有进气管密封圈和进气密封圈隔套。

作为对本发明的进一步说明，所述进气管密封圈设置于靠近进气管螺纹压盖的位置，所述进气密封圈隔套设置在2个进气管密封圈的之间。

作为对本发明的进一步说明，所述进气管外径与外管内径之间形成一个环形空间，且环形空间与所述工艺管容积相连通。

作为对本发明的进一步说明，所述环形空间与所述压力表座管的内部空间相连通。

其有益效果在于，本发明的一种具有进气和测压功能的双层气管及接头结构可以减少管路数量，合理套装共用同一位置，实现了两种气体套装管路共用一个中心位置或一种气体和压力测量共用一个中心位置，可以减少一半的进气管路的位置需求，解决了位置拥挤排布不开的困难，实现了多气体多流量的进气和压力检测的全部功能，其优良的效果和作用明显，值得推广应用。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中A部分的局部放大结构示意图；

图3是图1中B部分的局部放大结构示意图