[发明专利]一种双光束耦合水导加工头装置及加工方法

权利要求书

1.一种双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，包括光束调制模块、视觉模块及控制模块；

所述光束调制模块包括合束室及耦合室，所述耦合室固定设置于所述合束室下方，工件位于所述耦合室下方，所述合束室用于将激光A及激光B调制成一束在空间上能量重合或对称的合束激光，所述耦合室用于将从所述合束室射出的合束激光聚焦为耦合光束，所述耦合光束用于加工所述工件；

所述视觉模块位于所述合束室内，用于实时在线监测工件表面；

所述控制模块与所述光束调制模块、所述视觉模块及所述激光器电连接，用于控制所述光束调制模块、所述激光器及所述视觉模块工作；

优选的，所述视觉模块包括CCD模组及光源，所述光源发射波长与所述激光A及所述激光B波长不同。

2.根据权利要求1所述的双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，所述合束室包括壳体、第一进光口、第二进光口、反射镜组、合束镜及运动模组；

所述第一进光口及所述第二进光口连通设置在所述壳体的左、右、前及后任意一侧壁上或任意相对的两侧壁上，所述反射镜组、所述合束镜及所述运动模组均设置在所述壳体内；

所述第一进光口及所述第二进光口分别用于供所述激光A及所述激光B进入所述壳体内，所述反射镜组用于对进入所述壳体内的所述激光A及所述激光B进行全反射，所述合束镜用于将所述激光A及所述激光B成为一束合束激光；

所述运动模组用于控制所述反射镜组调制所述合束激光的能量分布，所述运动模组与所述控制模块电连接，通过所述控制模块控制所述运动模组工作。

3.根据权利要求1所述的双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，所述耦合室内设聚焦镜，所述聚焦镜用于将从所述合束室射出的所述合束激光聚焦成耦合光束，所述聚焦镜、所述视觉模块及所述耦合室的中心轴重合。

4.根据权利要求2所述的双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，所述第一进光口及所述第二进光口同时设置于所述合束室的左、右、前及后任意一侧壁上；

所述反射镜组包括第一反射镜及第二反射镜，所述合束镜包括S1面及S2面，所述第一反射镜中心与所述第一进光口同轴，所述第二反射镜、所述合束镜与所述第二进光口同轴，且所述合束镜位于所述第二进光口与所述第二反射镜之间，所述合束镜的S1面用于将经过所述第一反射镜反射的激光A反射给所述第二反射镜，所述合束镜的S2面用于将激光B透射到所述第二反射镜；

所述运动模组包括第一平移台及第二平移台，所述第一平移台及所述第二平移台水平移动，所述第一反射镜及所述第二反射镜分别设置于所述第一平移台及所述第二平移台上，所述视觉模块位于所述第二平移台上方。

5.根据权利要求4所述的双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，所述第一平移台及第二平移台相向移动。

6.根据权利要求2所述的双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，所述第一进光口及所述第二进光口分别设置在所述合束室的左右两侧壁上或前后两侧壁上；

所述反射镜组包括第三反射镜、第四反射镜及第五反射镜，所述第三反射镜与所述第一进光口的中心同轴，所述第四反射镜位于所述第三反射镜下方，所述第五反射镜与所述第二进光口的中心同轴，所述合束镜位于所述第五反射镜的下方，所述合束镜包括用于反射激光A的S2面及用于透射激光B的S1面，所述合束镜的S2面的中心与所述聚焦镜同轴；

所述运动模组包括第一平移台及第二平移台，所述第一平移台及第二平移台水平移动，所述第四反射镜及所述第五反射镜分别置于所述第一平移台及所述第二平移台上，所述视觉模块位于所述第二平移台上方。

7.根据权利要求6所述的双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，所述第一平移台及第二平移台同向移动。

8.根据权利要求2所述的双光束耦合水导加工头装置，其特征在于，所述第一进光口及所述第二进光口内均设置有光闸；

优选的，所述光闸与所述控制模块电连接，通过所述控制模块控制所述第一进光口或所述第二进光口的打开和关闭。