[发明专利]仿真波形文件的转换方法、装置、存储介质及自动测试设备

说明书

本申请实施例公开了一种仿真波形文件的转换方法、装置、存储介质及自动测试设备，涉及集成电路测试领域。通过对仿真波形文件的解析，以及根据管脚文件的格式确定对应的模板pattern文件，根据管脚序号集合中各个管脚的序号从仿真波形文件中自动提取数据矩阵，然后对数据矩阵进行压缩处理，将压缩处理的数据矩阵填充到模板pattern文件生成所需的目标pattern文件，实现降低目标pattern文件的数据冗余和减少存储空间，快速地将仿真波形文件转换为ATE测试pattern文件，有效减少测试pattern的调试周期以及防止手工转换pattern带来的错误。

技术领域

本申请涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种仿真波形文件的转换方法、装置、存储介质及自动测试设备。

背景技术

晶圆制造出来后，需要对晶圆进行CP(Circuit Probing，电路探测)测试，CP测试是借助通用ATE(Automatic Test Equipment，自动测试设备)进行逻辑测试或者电路测试，ATE上运行的测试pattern(测试波形)一般是由测试人员通过仿真环境生成的仿真波形文件，这类仿真波形文件是无法被ATE识别的，因此需要将仿真波形文件转换成ATE能够识别并运行的pattern。目前仿真波形文件的转换一般由测试人员根据波形文件中的波形属性值手动执行，存在转换效率低和容易出错的问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种仿真波形文件的转换方法、装置、存储介质及自动测试设备，可以解决相关技术中自动测试设备仅支持单一的调试模式带来的调试效率低的问题的问题。所述技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提供了一种仿真波形文件的转换方法，所述方法包括：

获取仿真波形文件；其中，所述仿真波形文件包括映射关系数据，所述映射关系数据表示管脚序号、波形描述值和测试时刻之间的映射关系；

获取管脚文件；

根据所述管脚文件的格式获取对应的模板pattern文件；

确定管脚序号集合；其中，所述管脚标识集合包含多个管脚序号；

根据所述多个管脚序号的排列顺序，从所述映射关系数据中提取对应的波形描述值；

根据提取的波形描述值重组形成第一数据矩阵；其中，所述第一数据矩阵的每一列对应一个管脚序号，每一行对应一个测试时刻，数据矩阵包含多个波形描述值；

将所述第一数据矩阵进行压缩处理得到第二数据矩阵；其中，压缩处理包括：遍历所述第一数据矩阵的行，对于连续分布的重复行保留一个行，以及在保留的行添加第一重复指示符和重复次数；

将所述第二数据矩阵填充到所述模板pattern文件生成目标pattern文件。

第二方面，本申请实施例提供了一种待测试晶圆的调试装置，包括：

获取单元，用于获取仿真波形文件；其中，所述仿真波形文件包括映射关系数据，所述映射关系数据表示管脚序号、波形描述值和测试时刻之间的映射关系；

所述获取单元，还用于获取管脚文件；

所述获取单元，还用于根据所述管脚文件的格式获取对应的模板pattern文件；

确定单元，用于确定管脚序号集合；其中，所述管脚标识集合包含多个管脚序号；

提取单元，用于根据所述多个管脚序号的排列顺序，从所述映射关系数据中提取对应的波形描述值；

重组单元，用于根据提取的波形描述值重组形成第一数据矩阵；其中，所述第一数据矩阵的每一列对应一个管脚序号，每一行对应一个测试时刻，数据矩阵包含多个波形描述值；