[发明专利]一种半导体测试机多个测试通道直流参数的校准方法

权利要求书

1.一种半导体测试机多个测试通道直流参数的校准方法，包括半导体测试机，半导体测试机的每个待校准通道的输入端分别连接一个线性运算电路模块，其特征在于具体包括如下步骤：

S1，半导体测试机的每个待校准通道的输入端分别连接一个线性运算电路模块，每个线性运算电路模块的输入端共同连接一个非线性运算模块；

S2，根据待校准通道的输入-输出值，获取非线性运算模块中的非线性变换公式；

S3，根据非线性运算模块的运算结果，得出每个待校准通道的线性变换公式，并得到线性变换公式中的斜率值、截距值；

S4，将步骤S3得到的斜率值、截距值分别写入每个待校准通道对应的线性运算电路模块中；

S5，对半导体测试机的每个待校准通道输入一个相同的输入值，输入值经过非线性运算模块的运算得出第一中间值；

S6，第一中间值经过每个待校准通道线性运算电路模块的运算，分别得出每个待校准通道的第二中间值；

S7，每个待校准通道的第二中间值经过对应的待校准通道的运行得到相同的输出值，完成了待校准通道的校准；

所述的步骤S2的具体方法如下：

S21，对所有待校准通道输入相同的输入值X，测量所有待校准通道的输出值Y_n，并求出所有待校准通道输出值的平均数；

S22，设置每次的输入值X_s为不同数值，重复步骤S21若干次，得出每次输出值的平均数；

S23，以每次的输入值X_s为横坐标，每次输出值的平均数为纵坐标，绘制非线性变换曲线图；

S24，观察非线性变换曲线规律，对非线性变换曲线进行分段曲线拟合，得出非线性变换公式；

所述的步骤S3的具体方法如下：

S31，以每次输出值的平均数为横坐标，每个测试通道的输出值Y_n为纵坐标，绘制每个待校准通道的线性变换曲线图；

S32，对每个待校准通道的线性变换曲线进行线性拟合，得到每个待校准通道的线性变换公式，m为斜率值，c为截距值。

2.一种半导体测试机多个测试通道直流参数的校准方法，包括半导体测试机，半导体测试机的每个待校准通道的输入端分别连接一个线性运算电路模块，其特征在于具体包括如下步骤：

S-1，半导体测试机的每个待校准通道的输入端分别连接一个线性运算电路模块，每个线性运算电路模块的输入端共同连接一个非线性运算模块；

S-2，根据多个待校准通道的输入-输出值，获取非线性运算模块中的非线性变换公式；

S-3，根据非线性运算模块的运算结果，得出每个待校准通道的线性变换公式，并得到线性变换公式中的斜率值、截距值；

S-4，将步骤S-3得到的斜率值、截距值分别写入每个待校准通道对应的线性运算电路模块中；

S-5，对半导体测试机的每个待校准通道输入一个相同的输入值，输入值经过非线性运算模块的运算得出第一中间值；

S-6，第一中间值经过每个待校准通道线性运算电路模块的运算，分别得出每个待校准通道的第二中间值；

S-7，每个待校准通道的第二中间值经过对应的待校准通道的运行得到相同的输出值；

所述的步骤S-2的具体方法如下：

S-21，选取一个待校准通道作为标准通道，对该标准通道依次输入若干个输入值A_s，并且设置若干个输入值A_s为不同数值，测量该标准通道每次的输出值B_s；

S-22，根据该标准通道的输入-输出值，绘制得到该标准通道的输入-输出曲线图，作为非线性变换 曲线；

S-23，观察非线性变换曲线规律，对非线性变换曲线进行分段曲线拟合，得出非线性变换公式；

所述的步骤S-3的具体方法如下：

S-31，对剩余待校准通道依次输入若干个输入值A_s，分别测量每个剩余待校准通道的输出值B_n，

S-32，以标准通道每次输出值B_s为横坐标，每个待校准通道的输出值B_n为纵坐标，绘制每个待校准通道的线性变换曲线；

S-33，对每个待校准通道的线性变换曲线进行线性拟合，得到每个待校准通道的线性变换公式，m为斜率值，c为截距值。